VTF-1200X-III-TSSG是一款3溫區(qū)頂部籽晶助熔劑法(TSSG)晶體生長爐。此設備主要由3部分組成:3溫區(qū)加熱爐(爐膛尺寸為:Φ127mm×600mm,溫度為1200℃),溫控系統(tǒng)可設置28段溫度程序段,控溫精度±1℃和精密旋轉(zhuǎn)提拉機構,其提拉速度為0.8-50mm/hour.
性能指標和基本配置 | |
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爐體 | ● 3溫區(qū)加熱: 150mm+300mm+150mm,三個溫區(qū)由獨立的溫控系統(tǒng)控制,可創(chuàng)造出較大的溫度梯度 |
控制面板 | ● PLC觸摸屏控制面板,可設置和控制提拉行程,提拉速度和旋轉(zhuǎn)速度等 |
提拉行程 | 300mm |
加熱腔體 | ● 腔體直徑為Φ135mm(設計為開啟式),可直徑為Φ80mm的坩堝 |
設備尺寸 | |
籽晶提拉機構 | ● 水冷提拉桿直徑:28mm |
產(chǎn)品認證 | CE認證 |
保修期 | 一年保修,終身技術支持。 特別提示: 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 點擊查看售后服務承諾書。 |