- 產(chǎn)品型號:SJ6000
- 產(chǎn)品名稱:SJ6000激光干涉儀
- 穩(wěn)頻方式:雙頻激光熱穩(wěn)頻
- 穩(wěn)頻精度:0.05ppm
- 線性測量精度:0.5ppm(0-40)℃
- 線性測量距離:(0-80)m(無需遠(yuǎn)距離線性附件)
- 角度測量精度:±(0.02%R+0.1+0.02M)″ (R為顯示值;M為測量距離,單位:m),分辨率:0.01″
- 測量分辨力:1nm
- 動態(tài)采集頻率:50KHz
- 預(yù)熱時間:≤6分鐘
- 工作溫度范圍:(0-40)℃
- 環(huán)境溫度范圍:(0-40)℃,環(huán)境濕度:0-95%
- 主要特點:應(yīng)用范圍廣、測量精度高、操作方便
1. 產(chǎn)品簡介
激光干涉儀以光波為載體,其光波波長可以直接對米進行定義,且可以溯源至國家標(biāo)準(zhǔn),是迄今的高精度、高靈敏度的測量儀器,在制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
SJ6000激光干涉儀集光、機、電、計算機等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進口高性能氦氖激光器,其壽命可達50000小時;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),可實現(xiàn)4m/s的測量速度,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;采用高性能計算機控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文、英文和俄文語言,友好的人機界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>
SJ6000激光干涉儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、測速下分辨率高等優(yōu)點,結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析,如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
2.產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。
其中,線性鏡組為標(biāo)配,由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,以及反向間隙修正和螺距補償。
二.工作原理
激光器發(fā)射單一頻率光束射入線性干涉鏡,然后分成兩道光束,一道光束(參考光束)射向連接分光鏡的反射鏡,而第二道透射光束(測量光束)則通過分光鏡射入第二個反射鏡,這兩道光束再反射回到分光鏡,重新匯聚之后返回激光器,其中會有一個探測器監(jiān)控兩道光束之間的干涉(見圖)。若光程差沒有變化時,探測器會在相長性和相消性干涉的兩極之間找到穩(wěn)定的信號。
若光程差有變化時,探測器會在每一次光程變化時,在相長性和相消性干涉的兩極之間找到變化信號,這些變化會被計算并用來測量兩個光程之間的差異變化。
三. 產(chǎn)品功能特點
◆精度高
SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實現(xiàn)高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補償模塊,可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償;干涉鏡與主機分離設(shè)計,避免干涉鏡受熱影響,保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
◆功能廣
● 可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量;
● 可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等;
● 可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn);
● 可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
● 具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等;
● 支持手動或自動進行環(huán)境補償。
◆軟件強
● 友好的人機界面;
● 豐富的應(yīng)用功能模塊;
● 向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
● 簡潔化的記錄管理;
● 支持中文、英文和俄文界面;
● 支持企業(yè)專屬模板定制。
榮譽證書
客戶應(yīng)用案例
組裝機床調(diào)校
北京精雕機床直線度測量
精密機床測量
CNC數(shù)控機床校準(zhǔn)
機床回轉(zhuǎn)軸測量
大型龍門加工中心測量
大族激光切割機測量
自動化設(shè)備測量
泰國國家超長導(dǎo)軌測量
球桿儀檢測
三坐標(biāo)測量機校準(zhǔn)
超大型加工中心回轉(zhuǎn)軸檢測
懇請注意:因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要,本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。
專注于工業(yè)自動化、智能制造、法定計量領(lǐng)域各類精密測量/計量儀器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,自營產(chǎn)品目前主要有影像測量儀、顯微鏡、客制非標(biāo)光學(xué)測量儀器等產(chǎn)品;同時經(jīng)銷多款國內(nèi)外品牌之精密測量儀器;公司總部設(shè)在深圳,在東北地區(qū)、西南地區(qū)設(shè)有分公司或服務(wù)機構(gòu)貼近客戶,具備完善的銷售服務(wù)體系。企業(yè)使命:為提升中國制造業(yè)水平,縮小與國外制造業(yè)強國之差距持續(xù)努力,砥礪前行。我們圍繞客戶之需求,與眾多國內(nèi)外各領(lǐng)域公司合作,在幾何量尺寸檢測、精密光學(xué)檢測、材料分析、力學(xué)性能測試、壓力測試、機械加工技術(shù)、增材制造技術(shù)等領(lǐng)域為各行業(yè)的客戶提供最合適的產(chǎn)品解決方案和技術(shù)服務(wù)。 中頤順科技座落于技術(shù)與思維創(chuàng)新的前沿高地-深圳市,公司立足于專業(yè)知識和豐富行業(yè)應(yīng)用經(jīng)驗,不斷銳意進取,緊跟相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展動態(tài),不斷迭代提升公司的技術(shù)、產(chǎn)品與服務(wù),及時提供給廣大客戶的技術(shù)和產(chǎn)品訊息,力求幫助每一位客戶持續(xù)提升生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,為客戶創(chuàng)造價值。
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