集合了共焦光學(xué)形貌儀,WLI白光干涉形貌儀,原子力顯微鏡,接觸和非接觸式雙模式表面形貌檢測(cè)。
技術(shù)參數(shù)
項(xiàng)目簡(jiǎn)述 | 參數(shù)說(shuō)明 |
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共焦 |
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干涉儀(WLI) |
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原子力顯微鏡 |
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變焦 |
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項(xiàng)目簡(jiǎn)述 | 參數(shù)說(shuō)明 |
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共焦 |
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干涉儀(WLI) |
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原子力顯微鏡 |
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變焦 |
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