捷歐路JEOL JSM-7800F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡配備了新開發(fā)的超級混合式物鏡(SHL)，在保持的可操作性的同時，實現(xiàn)了低加速電壓下的高分辨率，電子源采用浸沒式（in-lens）肖特基場發(fā)射電子槍，因而能以大束流電流進行穩(wěn)定的分析。捷歐路JEOL JSM-7800F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的物鏡采用的是靜電場和靜磁場疊加的超級混合式物鏡(SHL)，由于減少了色差及球差，極大地提高了低加速電壓下的分辨率。此外，SHL不會對樣品形成磁場影響，因此觀察磁性材料的樣品和進行EBSD測試可以不受制約。能量過濾器位于高位檢測器 (UED)的正下方，可以選擇能量。即使在低加速電壓下，也能夠精確地選擇二次電子和背散射電子，因而可以通過低加速電壓下的背散射電子像觀察樣品的淺表面。給樣品加以偏壓(GB)，對入射電子有減速、對釋放出的電子有加速作用。即使入射電子束到達樣品時的能量很低，也可以獲得高分辨率、高信噪比的圖像。如果利用能施加更高偏壓的GB模式，用幾十電子伏能量的入射電子束，就可以進行更高分辨率的觀察。
捷歐路JEOL JSM-7800F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡配有四種檢測器：高位檢測器(UED) 、高位二次電子檢測器(USD)、背散射電子檢測器(BED)和低位檢測器(LED)。UED過濾器的電壓不同，二次電子和背散射電子的數(shù)量會改變，因此可以選擇電子的能量，USD檢測被過濾器彈回的低能量電子，BED通過檢測低角度的背散射電子，能清楚地觀察通道襯度。利用LED的照明效果能夠獲得含有形貌信息的、富有立體感的圖像。
| 分辨率 | 0.8 nm (15 kV)、1.2 nm (1 kV) 分析模式：3.0 nm (15kV、5nA、WD10mm) |
| 倍率 | × 25 ～ × 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×30～×3,000,000(1280 x 960 pixels display); |
| 加速電壓 | 0.01kV ～ 30kV |
| 束流 | 幾pA～200nA |
| 自動光闌角控制透鏡 | 內(nèi)置 |
| 檢測器 | 高位檢測器(UED) 低位檢測器(LED) |
| 能量過濾器 | UED過濾器電壓可變功能內(nèi)置 |
| Gentle Beam模式 | 內(nèi)置 |
| 樣品臺 | 全對中測角樣品臺、5軸馬達驅(qū)動 X：70mm Y：50mm Z：2mm～25mm 傾斜－5～＋70° 旋轉(zhuǎn)360° |
關(guān)鍵詞：
