捷歐路JEOL JSM-7610F 熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡是一款半浸沒式(semi-in-lens)高分辨率場發(fā)射掃描電鏡,照明系統(tǒng)采用High Power Optics(高性能電子光學(xué)系統(tǒng)),可以進行高分辨率、高精度的快速元素分析。配合Gentle Beam (GB模式即柔和光束),可以用幾百電子伏的入射電子束觀察樣品的淺表面。半浸沒式(semi-in-lens)物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細;浸沒式(in-lens)肖特基場發(fā)射電子槍壽命長,能獲得穩(wěn)定的電流,這兩者的結(jié)合既兼顧了高分辨率觀察同時也能夠進行高空間分辨率分析。通過給樣品加以偏壓并照射電子束,能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 ,以幾百電子伏的入射電子對樣品的淺表面進行高分辨率觀察,這是迄今為止未能實現(xiàn)的。
電子光學(xué)系統(tǒng)采用了高性能電子光學(xué)系統(tǒng)。不僅能進行高分辨率觀察還可以進行穩(wěn)定、快速、高精度的元素分析。
電子槍 | 肖特基場發(fā)射 |
物鏡 | semi-in-lens物鏡 |
分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.3 nm @ 1 kV 分析模式:3.0 nm @ 15kV WD8mm 5nA |
加速電壓 | 0.1~30kV |
束流 | 幾pA ~ 200nA @ 15 kV |
自動光闌角控制透鏡 | 內(nèi)置 |
倍率 | x 25 ~ x 1,000,000(120mm x 90mm photograph size); ×75~×3,000,000(1280 x 960 pixels display); |
檢測器 | 高位檢測器(SED) 低位檢測器(LED) |
能量過濾器 | r-能量過濾器 |
Gentle Beam模式 | 內(nèi)置 |
樣品交換室 | 內(nèi)置(具有干燥氮氣導(dǎo)入功能) 氣鎖式、可交換的樣品:φ100mm×40mmH |
樣品臺 | 5軸馬達驅(qū)動、全對中測角樣品臺 |
樣品移動范圍 | X: 70 mm , Y: 50 mm,Z: 1.0~25 mm,傾斜:-5~70°, 旋轉(zhuǎn): 360° |
關(guān)鍵詞: