捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡配備了冷場(chǎng)發(fā)射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡，配合Gentle Beam （GB模式即柔和光束）能夠達(dá)到的分辨率。通過與GB模式組合，即使是用幾百電子伏的入射電子束也能獲得很高的分辨率，是非常適合觀察樣品淺表面的裝置之一。此外，JSM-7500F還可以選配用于元素分析等的各種附件。捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)將場(chǎng)發(fā)射電子槍和半浸沒式（semi-in-lens）物鏡組合為一體，冷場(chǎng)發(fā)射電子槍在低加速電壓下也能夠?qū)㈦娮邮劢沟煤芗?xì)，與通用型掃描電鏡一樣，對(duì)大樣品也可以進(jìn)行高分辨率的觀察。
捷歐路JEOL JSM-7500F 冷場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡通過給樣品加以偏壓并照射電子束，利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 （柔和光束），以幾百電子伏的入射電子對(duì)樣品的淺表面進(jìn)行高分辨率觀察，這是迄今為止未能實(shí)現(xiàn)的。新型 r-過濾器有標(biāo)準(zhǔn)SB（二次電子檢測(cè)）模式、標(biāo)準(zhǔn)BE模式（背散射電子檢測(cè)）、Sb模式（二次電子為主）和Bs模式（背散射電子為主）四種模式。Sb模式能檢測(cè)混有任意比例背散射電子的二次電子，Bs模式能檢測(cè)混有任意比例二次電子的背散射電子，這些功能在簡明易懂的菜單上都可一鍵操作完成。
| 電子槍 | 冷場(chǎng)發(fā)射 |
| 物鏡 | semi-in-lens物鏡 |
| 分辨率 | 1.0 nm @ 15 kV、1.4 nm @ 1 kV |
| 加速電壓 | 0.1～30kV |
| 束流 | 1pA ～ 2nA |
| 自動(dòng)光闌角控制透鏡 | 內(nèi)置 |
| 倍率 | x 25 ～ x 1,000,000 |
| 檢測(cè)器 | 高位檢測(cè)器（SED） 低位檢測(cè)器（LED） |
| 能量過濾器 | r-能量過濾器 |
| Gentle Beam模式 | 內(nèi)置 |
| 樣品交換室 | 內(nèi)置（具有干燥氮?dú)鈱?dǎo)入功能） 氣鎖式、可交換的樣品：φ100mm×40mmH |
| 樣品臺(tái) | 5軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)、全對(duì)中測(cè)角樣品臺(tái) |
| 樣品移動(dòng)范圍 | X: 70 mm , Y: 50 mm，Z: 1.0～25 mm，傾斜:-5～70°, 旋轉(zhuǎn): 360° |
關(guān)鍵詞：
