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3D表面輪廓儀 中圖SuperView光學(xué)輪廓測量儀中圖儀器SuperviewW1

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SuperviewW
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2023/1/8 11:55:05
  • 訪問次數(shù)444
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深圳市中圖儀器股份有限公司是,致力于精密測量、計(jì)量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售?! ≈袌D儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ),現(xiàn)有員工200余人,集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的專業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)、歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐、專業(yè)覆蓋面廣,專項(xiàng)技術(shù)能力強(qiáng),具有多項(xiàng)技術(shù)和軟件知識產(chǎn)權(quán)。在微納米運(yùn)動設(shè)計(jì)制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導(dǎo)軌測控等眾多技術(shù)領(lǐng)域形成了的設(shè)計(jì)、制造優(yōu)勢,具備了從納米到百米為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案的能力。 中圖儀器在深圳市南山區(qū)智園科技園擁有現(xiàn)代化的辦公場地,在深圳市寶安區(qū)創(chuàng)新新世界產(chǎn)業(yè)園擁有儀器設(shè)備精密加工、裝配檢測的專業(yè)生產(chǎn)制造基地,按照ISO9001、6S等標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行生產(chǎn),為客戶提供的產(chǎn)品?! ≈袌D儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍及三十多個省、市、自治區(qū),海外市場快速成長,營銷網(wǎng)絡(luò)日逐完善?! ≈袌D儀器經(jīng)過十多年在幾何量測量領(lǐng)域的潛心研究,設(shè)計(jì)制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機(jī)、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機(jī)、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量、計(jì)量設(shè)備。從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量,為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案。  目前,中圖儀器的產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于計(jì)量質(zhì)量檢測機(jī)構(gòu)、汽車、航空航天、機(jī)械制造、半導(dǎo)體加工、3C電子等行業(yè),部分產(chǎn)品達(dá)到水平,參與制定了多項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn),為中國儀器在精密測量、計(jì)量檢測領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步做出了應(yīng)有的貢獻(xiàn)?! ∥磥恚袌D儀器還將專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展,自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)我們的力量,圖中國儀器技術(shù)之強(qiáng)大,鑄中國產(chǎn)業(yè)提升之利器。
中圖儀器3D表面輪廓儀由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成
3D表面輪廓儀 中圖SuperView光學(xué)輪廓測量儀中圖儀器SuperviewW1 產(chǎn)品信息
中圖儀器3D表面輪廓儀由光學(xué)照明系統(tǒng)、光學(xué)成像系統(tǒng)、垂直掃描控制系統(tǒng)、信號處理系統(tǒng)、應(yīng)用軟件構(gòu)成。其中信號處理系統(tǒng)作為儀器核心部分,由計(jì)算機(jī)和數(shù)字信號協(xié)處理器構(gòu)成。利用計(jì)算機(jī)采集一系列原始圖像數(shù)據(jù),然后使用專用的數(shù)字信號協(xié)處理器完成數(shù)據(jù)解析作業(yè)。重建算法能自動濾除樣品表面噪點(diǎn),在硬件系統(tǒng)的配合下,分辨率可達(dá)0.1nm。
 

性能特點(diǎn)

1、輪廓/粗糙度測量功能:
高到亞納米級的高度分辨率,在寬度、高度、角度、直徑等各類輪廓尺寸測量功能以及表征表面整體加工質(zhì)量的粗糙度等指標(biāo);
2、自動化測量功能:
自動單區(qū)域測量/自動多區(qū)域測量/自動拼接測量;
3、復(fù)合型掃描算法:
集合了PSI高精度&VSI大范圍雙重優(yōu)點(diǎn)的EPSI掃描算法,有效覆蓋從超光滑到粗糙等所有類型樣品,無須切換,操作便捷;
4、雙重防撞保護(hù)功能:
Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能,雙重保護(hù),多一重安心;
5、環(huán)境噪聲檢測功能:
環(huán)境噪聲評價(jià)功能能夠定量檢測儀器當(dāng)前所處環(huán)境的綜合噪聲數(shù)值,對儀器的調(diào)試、測試可靠性提供指導(dǎo);
6、完善的售后服務(wù)體系:
設(shè)備故障遠(yuǎn)程&現(xiàn)場解決,軟件免費(fèi)升級。

中圖儀器3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,能夠以優(yōu)于納米級的分辨率非接觸測量樣品表面形貌,用于表面形貌紋理,微觀結(jié)構(gòu)分析,用于測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D,3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),廣泛應(yīng)用于光學(xué),半導(dǎo)體,材料,精密機(jī)械等領(lǐng)域。
 


在芯片封裝測試流程中,中圖儀器3D表面輪廓儀可以測量晶圓減薄和晶圓切割工藝需要測量的晶圓膜厚、粗糙度、平整度(翹曲),晶圓切割槽深、槽寬、崩邊形貌等參數(shù)。
 
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