技術(shù)規(guī)格：
? 超快響應(yīng)和穩(wěn)定時(shí)間（50毫秒）
? 優(yōu)良的精度/重復(fù)性(分別為測(cè)量讀數(shù)的0.8%/0.1%)
? 很寬的動(dòng)態(tài)范圍 (量程比可達(dá)1000：1)
? 多種數(shù)據(jù)接口可供選擇：RS485, DeviceNet, IO-Link和模擬電壓/電流
? 多種機(jī)械連接可供選擇：Swagelok, VCR, VCO, Legris, C-Seal, W-Seal
? 實(shí)標(biāo)的多種氣體和氣體識(shí)別
? 美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)及技術(shù)研究所的可追溯校準(zhǔn)
? MTBF169年-無(wú)需再校準(zhǔn)
應(yīng)用領(lǐng)域：
SFC5400/SFM5400產(chǎn)品的優(yōu)異性能使其成為分析儀器、涂層/蝕刻設(shè)備、醫(yī)療設(shè)備和過(guò)程自動(dòng)化等廣泛應(yīng)用的。
儀表參數(shù)：
| 參數(shù) | 值 | 單位 | |
| 流量范圍 | 0.05, 0.1, 0.2, 0.5, 1, 2, 5, 10 | 20, 50, 100, (200 ①) | ln/min or slm |
| 精度 ② | 0.8 | 1 | % s.p.③ |
| 兩者以較大者為準(zhǔn) | 0.08 | 0.1 | % FS |
| 重復(fù)性 | 0.1 | 0.2 | % s.p. |
| 兩者以較大者為準(zhǔn) | 0.01 | 0.02 | % FS |
| 穩(wěn)定時(shí)間典型值 ④ | 100 (50 for optimized OEM versions ⑤) | ms | |
| 取樣頻率 | 1000 | Hz | |
| 量程比 ⑥ | 超過(guò) 1000:1 | ||
| 標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)定氣體 | Air/N2, H2, O2, He, Ar, CO2 | ||
| 用氣體轉(zhuǎn)換標(biāo)定的氣體 ⑦ | 標(biāo)準(zhǔn): SF6, C4F8 | ||
| OEM版，可根據(jù)要求與其他氣體或混合物 | |||
| 工作溫度(環(huán)境和氣體) | 0 – 50 / 32 – 122 | °C / °F | |
| Temp. coeff. zero | 0.005 | % FS / °C | |
| Temp. coeff. span | 0.06 | % s.p. / °C | |
| 全量程壓降：SFC5400 | < 2.0 / 29 | < 3.0 / 43 | bar / psig |
| 全量程壓降：SFM5400 | < 0.1 / 1.5 | < 0.2 / 3 | |
| 輸入壓力 ⑧ | 10 / 145 | bar / psig | |
| 差壓 ⑨ | 5 / 73 | 4 / 58 | bar / psig |
| MFC外部泄漏 | 9 x 10-9 | 9 x 10-6 | mbar l/s He |
| 電磁閥泄露量 | 1 x 10-6 | mbar l/s He | |
| 熱機(jī)時(shí)間 ⑩ | 1 | sec | |
① 精度會(huì)降低；
② 包括偏移、非線性和遲滯。根據(jù)NIST可追蹤基準(zhǔn)測(cè)量；
③ 讀數(shù)%=測(cè)量點(diǎn)精度=流量=讀數(shù)；
④ 設(shè)定點(diǎn)5%精度內(nèi)流量從10%到99%的響應(yīng)時(shí)間，具有模擬接口的質(zhì)量流量控制器由于模擬電路延遲(通常由因子2)而需要較長(zhǎng)的穩(wěn)定時(shí)間；
⑤ 50個(gè)最小年用量；
⑥ 參數(shù)只適用于質(zhì)量流量控制器。具有模擬接口的設(shè)備的性能取決于布線質(zhì)量，通常不超過(guò)500：1；
⑦ 氣體轉(zhuǎn)換是利用標(biāo)準(zhǔn)氣體的組合從實(shí)際的氣體校準(zhǔn)數(shù)據(jù)中產(chǎn)生的。典型的準(zhǔn)確度為2%M.V。/0.2%FS(以較大者為準(zhǔn))。
⑧ 進(jìn)氣道與周?chē)h(huán)境的壓力差；
⑨ 進(jìn)氣口和出口之間的壓差。
⑩ 讀數(shù)穩(wěn)定到設(shè)定點(diǎn)的2%精度內(nèi)的時(shí)間。
