
特點(diǎn)
●大幅度提高了驅(qū)動(dòng)速度(X軸:80mm/s,
Z2軸:20mm),近一步降低了總測(cè)量時(shí)間
●為了在一定時(shí)段內(nèi)維持儀器的直線度精度
規(guī)格,三豐公司采用了具有的耐磨擦
性及穩(wěn)定性的高硬度陶瓷導(dǎo)軌
●大量的外周設(shè)備選件支持CNC模式,從而
可以很容易實(shí)現(xiàn)CNC測(cè)量
●驅(qū)動(dòng)裝置(X軸)和立柱(Z2軸)中集成了高精
度光柵尺(Z2軸為ABS型),從而提高了在
垂直方向持續(xù)自動(dòng)測(cè)量小孔和不易定位工
件的重復(fù)精度
●X軸精度:±(0.8+0.01L)μm
●Z1軸精度:±(0.8+l0.5Hl/25)μm*,針
對(duì)高精度工件的測(cè)量所設(shè)計(jì)
●CV-4100系列的驅(qū)動(dòng)裝置集成了Laser
Hologage檢測(cè)器,在Z軸(垂直方向)的窄
/寬測(cè)量范圍內(nèi),提供的精度和分辨
率