該硅片TTV厚度測試儀是采用紅外干涉技術的硅片厚度測量儀,能夠精確測量硅片厚度和測量TTV總厚度變化,也能實時測量超薄晶圓厚度(掩膜過程中的晶圓),硅片厚度測試儀非常適合晶圓的研磨、蝕刻、沉淀等厚度測量應用。
硅片厚度測量儀采用的這種紅外干涉技術具有優(yōu)勢,諸 多材料例如,Si, GaAs, InP, SiC, 玻璃,石英以及其他聚合物在紅外光束下都是透明的,非常容易測量,標準的測量空間分辨率可達50微米,更小的測量點也可以做到。
這款硅片厚度測量儀采用非接觸式測量方法,對晶圓的厚度和表面形貌進行測量,可廣泛用于:MEMS, 晶圓,電子器件,膜厚,激光打標雕刻等工序或器件的測量。
該硅片厚度測量儀專業(yè)為掩膜,劃線的晶圓,粘到藍寶石或玻璃襯底上的晶圓等各種晶圓的厚度測量而設計,同時,硅片厚度測試儀還適合50-300mm 直徑的晶圓的表面形貌測量。
該硅片厚度測試儀具有探針系統(tǒng)配件,使用該探針系統(tǒng)后,硅片TTV厚度測試儀可以高精度地測量圖案化晶圓,帶保護膜的晶圓, 鍵合晶圓和帶凸點晶圓(植球晶圓),wafers with patterns, wafer tapes,wafer bump or bonded wafers 。
該硅片TTV厚度測試儀直接而精確地測量晶圓襯底厚度和厚度變化TTV,同時該硅片厚度測量儀能夠測量晶圓薄膜厚度,硅膜厚度(membrane thickness) 和凸點厚度(wafer pump height).,溝槽深度 (trench depth).
孚光精儀公司品牌源于早期的東歐地區(qū)和德國進口光學材料和儀器的進口服務。公司創(chuàng)始股東們足跡遍布捷克,愛沙尼亞,羅馬尼亞,白俄羅斯,立陶宛,法國,英國,意大利,奧地利,丹麥,比利時,以及德國 漢堡,法蘭克福,柏林,慕尼黑,紐倫堡,德累斯頓等科技強國和強市,對整個歐洲特別是東歐和德國的技術產(chǎn)品和精密儀器的質量有可靠的把握。長期以來,德國在科學研究、技術創(chuàng)新和儀器研發(fā)領域具有的優(yōu)勢。德國的科學儀器以技術*,質量可靠而著稱。孚光精儀早期專注于選擇德國和東歐國家可靠的供應商,為用戶提供了道質量保障。公司派送員工前往原廠進行技術培訓,從而具備為遠東地區(qū)用戶提供快速高效的技術服務能力,這一舉措深得用戶和制造商的高度贊譽。因此,孚光精儀的事業(yè)在服務客戶的同時獲得超常發(fā)展,快速成長為*儀器的規(guī)模型供應商和技術服務商。目前,孚光精儀已經(jīng)把產(chǎn)品原產(chǎn)地擴展到整個歐洲和美國,形成了以歐洲和美國為供貨來源地的良好局面。
硅片厚度測量儀 產(chǎn)品信息