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廣電計量檢測集團股份有限公司

KLA臺階儀 D-300 探針式 表面輪廓儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱翌穎科技(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號D-300
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/1/29 8:43:50
  • 訪問次數(shù)971
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成立于2012年,在香港、上海、東莞、天津、西安和蘇州設有分支機構或辦公室。從成立伊始就一直專注于薄膜厚度與表面輪廓測量領域,為半導體、面板等高科技企業(yè)和高校及研發(fā)中心提供精密測量設備與解決方案。提供全面的一對一銷售服務,技術支持,備件管理和咨詢服務。不同于大多數(shù)的設備銷售公司,我們具備技術與豐富的行業(yè)經(jīng)驗,不光為用戶提供設備,也提供設備具體應用及工藝方面的支持服務,同時我們具備核心研發(fā)能力,在設備設計和集成上可以幫助客戶解決特殊應用問題。 公司核心人員在薄膜測量領域耕耘超過10年,擁有非常豐富的行業(yè)經(jīng)驗,為客戶提供的解決方案。 優(yōu)尼康科技有限公司成立于2014年,作為翌穎科技的附屬公司拓展業(yè)務領域。 我們秉承“真誠,專注,信賴”的理念,用我們真誠的態(tài)度與行動服務客戶,專注于為客戶提供高品質、適合用戶需求的產(chǎn)品,與每一位客戶建立互相信賴的合作伙伴關系。我們真誠希望與大家共同成長,共同發(fā)展,一起創(chuàng)造美好的明天。
KLA D-300探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。
KLA臺階儀 D-300 探針式 表面輪廓儀 產(chǎn)品信息

KLA D-300 探針式表面輪廓儀




Alpha-Step D-300 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。 創(chuàng)新的光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量,大垂直范圍和低觸力測量功能。

    探針測量技術的一個優(yōu)點是它是一種直接測量,與材料特性無關。可調節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行精確測量。通過測量粗糙度和應力,可以對工藝進行量化,確定添加或去除的材料量,以及結構的任何變化。


設備特點

· 臺階高度:幾納米至1000μm

· 低觸力:0.5至15mg

· 視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像頭

· 梯形失真校正:消除側視光學系統(tǒng)引起的失真

· 圓弧校正:消除由于探針的弧形運動引起的誤差

· 緊湊尺寸:最小占地面積的臺式探針式輪廓儀


主要應用

· 臺階高度:2D臺階高度

· 紋理:2D粗糙度和波紋度

· 形式:2D翹曲和形狀

· 應力:2D薄膜應力


應用領域

· 半導體和復合半導體

· SIMS:二次離子質譜

· LED:發(fā)光二極管

· 太陽能

· MEMS:微電子機械系統(tǒng)

· 汽車

· 醫(yī)療設備


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