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廣電計量檢測集團股份有限公司

中圖儀器光學輪廓儀三維形貌測量儀器SuperViewW1

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號SuperViewW
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/2/3 8:47:28
  • 訪問次數(shù)460
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深圳市中圖儀器股份有限公司是,致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產和銷售?! ≈袌D儀器堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎,現(xiàn)有員工200余人,集光、機、電、信息技術于一體的專業(yè)技術團隊、歷經(jīng)了十多年的技術積累和發(fā)展實踐、專業(yè)覆蓋面廣,專項技術能力強,具有多項技術和軟件知識產權。在微納米運動設計制造、微納米顯微測量三維重建、顯微測量3D形貌分析、大尺寸三維空間測量、精密傳感測頭、光柵導軌測控等眾多技術領域形成了的設計、制造優(yōu)勢,具備了從納米到百米為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案的能力?!≈袌D儀器在深圳市南山區(qū)智園科技園擁有現(xiàn)代化的辦公場地,在深圳市寶安區(qū)創(chuàng)新新世界產業(yè)園擁有儀器設備精密加工、裝配檢測的專業(yè)生產制造基地,按照ISO9001、6S等標準進行生產,為客戶提供的產品?! ≈袌D儀器的銷售和服務網(wǎng)點遍及三十多個省、市、自治區(qū),海外市場快速成長,營銷網(wǎng)絡日逐完善?! ≈袌D儀器經(jīng)過十多年在幾何量測量領域的潛心研究,設計制造了Super View系列白光干涉儀、GT系列激光跟蹤儀、SJ6000系列激光干涉儀、SJ5100系列高精度測長機、SJ5700系列輪廓測量儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機、SJ2000系列指示表自動檢定儀等眾多測量、計量設備。從納米級的微觀形貌檢測到百米級的大尺寸高精度測量,為用戶提供專業(yè)的精密測量解決方案?! ∧壳?,中圖儀器的產品已廣泛應用于計量質量檢測機構、汽車、航空航天、機械制造、半導體加工、3C電子等行業(yè),部分產品達到水平,參與制定了多項國家標準,為中國儀器在精密測量、計量檢測領域的技術進步做出了應有的貢獻。  未來,中圖儀器還將專注于精密測量檢測技術的發(fā)展,自強不息、知難而上、勇于創(chuàng)新,為制造技術的快速發(fā)展貢獻我們的力量,圖中國儀器技術之強大,鑄中國產業(yè)提升之利器。
SuperViewW1光學輪廓儀三維形貌測量儀器是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一
中圖儀器光學輪廓儀三維形貌測量儀器SuperViewW1 產品信息
SuperViewW1光學輪廓儀三維形貌測量儀器是目前三維形貌測量領域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下,測量精度和重復性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,具有的測量晶圓翹曲度功能,非常適合晶圓,太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,應變測量以及表面形貌測量。
 

SuperViewW1光學輪廓儀的X/Y方向標準行程為140*100mm,滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。而SuperViewW1-Pro 型號增大了測量范圍,可覆蓋8英寸及以下晶圓,定制版真空吸附盤,穩(wěn)定固定Wafer;氣浮隔振+殼體分離式設計,隔離地面震動與噪聲干擾。
 

產品功能

1)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能;
2)測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能;
3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能;
4)分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能;
5)分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。
 
 

性能特色

1、高精度、高重復性
1)采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),保證測量精度高;
2)隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,保障儀器在大部分的生產車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,獲得高測量重復性;
2、雙重防撞保護措施
除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),保護儀器,降低人為操作風險。
3、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)
SuperViewW1光學輪廓儀既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配空壓機,在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。
15700106413
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