一、儀器規(guī)格參數(shù)
30mm高分辨率激光干涉儀（型號G30HD）為多攝像孔檢測而定制，具備大視場、高分辨率的性能。可以同時完成雙孔、三孔或四孔的透過波前檢測。
儀器規(guī)格參數(shù)表
硬件部分：
| 產(chǎn)品型號 | G30HD |
| 產(chǎn)品名稱 | 30mm高分辨率激光干涉儀 |
| 測試口徑 | 30mm*25mm |
| 標準鏡面形精度 | λ/20 |
| 光源 | 進口He-Ne激光器（632.8nm) |
| 可同步測量孔數(shù) | 4孔 |
| 電源 | AC220V50HZ |
| 標配配件 | 氣浮減震平臺 |
軟件部分：
| 軟件名稱 | 移相算法（簡稱PH） |
| 分析項目 | 透過波前PV值、power值、平行度Tilt值、ttv值、條紋數(shù)等 |
| 測試重復性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
| 測試允許誤差 | PV<1λ時 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場調(diào)整為1根條紋） 1λ<PV<2λ時 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場調(diào)整為1根條紋） |
| 測試時間 | 1.5秒 |
二、儀器特點
1、可同步測量四攝像孔
雙攝、三攝甚至四攝逐漸成為手機攝像的標配，傳統(tǒng)的小視場干涉儀每次只能測量一個攝像孔，效率低下；而大視場干涉儀雖然可以顯示多個攝像孔，但分辨率不足，不能勝任大像差攝像孔的測量。
G30HD便針對該特殊需求而設計，可以同時滿足最多四攝像孔的同步測量。
儀器可同步測量四攝像孔的PV、power、條紋數(shù)等數(shù)值，并同步給出OK/NG的總體評價：
2、可滿足大像差攝像孔的測量
在具備大視場的同時，儀器具備足夠高的分辨率。下表為G30HD與G10可準確測量的像差對比：
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| G30HD | G10U-PH |
| 3mm口徑（前置攝像孔典型值） | 條紋數(shù) | 30fr | 20fr |
| PV（背景零場測試值） | 1.5λ | 1λ | |
| 6mm口徑(后置攝像孔典型值) | 條紋數(shù) | 60fr | 40fr |
| PV（背景零場測試值） | 3λ | 2λ |
注：PV（背景零場測試值）為背景調(diào)整為零條紋時，直接測量所得的PV值。
G30HD足夠勝任后置攝像孔與2.5D前置攝像孔的測量。
3、光源為進口He-Ne激光器（波長632.8nm）
He-Ne激光器相比半導體激光相比有如下優(yōu)點：相干性穩(wěn)定、優(yōu)良，干涉圖的對比度及清晰度更高，且壽命很長（一般可達到2萬小時以上）。半導體激光器隨溫度變化產(chǎn)生的溫飄會使干涉條紋的對比度、清晰度周期性變差，對數(shù)字化測量有很大影響；且壽命較短，易被靜電損傷。
4、標配氣浮減震平臺
儀器標配氣浮減震平臺，即使在環(huán)境惡劣的生產(chǎn)現(xiàn)場亦可以保證穩(wěn)定、可靠的測試。
5、后續(xù)可升級自動化測試方案
儀器可通過串口與自動化設備進行通訊。且進口He-Ne激光器與氣浮減震平臺的使用，使儀器可以在無人干預的情況下，保證穩(wěn)定、可靠的測試，后續(xù)可升級自動化測試。
