光譜范圍：350 nm - 850 nm
可選: 280 nm - 850 nm
SE 800是采用快速二極管陣列探測器的高性能光譜橢偏儀，在紫外/可見光范圍內(nèi)兼具快速數(shù)據(jù)采集速度和全光譜范圍分辨率。
光譜橢偏儀SE 800適用于復雜應用，比如測量玻璃上的透明薄膜，發(fā)光體和半導體聚合物薄膜，吸收/透明基底上的多層膜，窗材料的減反射膜，的微電子應用比如SOI，高k值和低k值材料。各向異性樣品和非均勻樣品也能夠被分析。
主要特點
l 步進掃描分析器工作方式，對較低光強也同樣有效
l 消色差補償器在整個0-360度范圍內(nèi)都可極準確和精確地測量出橢偏角度。能夠分析偏振因數(shù)和補償退偏效應
l 起偏器跟蹤技術(shù)可以為每一種應用都提供的測量精度
l 自動對準鏡用于樣品傾斜度調(diào)節(jié)，顯微鏡用于樣品高度調(diào)節(jié)，能夠提供的樣品對準精度
l 高穩(wěn)定性的操作，所有硬件操作由其內(nèi)置的微控制器分別控制，基于Windows XP系統(tǒng)的型電腦
l SpectraRay II – 功能強大的光譜橢偏儀軟件
主要應用
l 測量單層膜或多層膜的厚度和折射率
l 在紫外-可見光波段測量材料的光學性質(zhì)
l 測量厚度梯度
l 測量膜表面和界面間的粗糙程度
l 確定材料成分
l 分析薄金屬膜
l 分析各向異性材料和薄膜
l CER – 結(jié)合橢偏測量和反射測量
l CET – 結(jié)合橢偏測量和透射測量
