半導(dǎo)體超純水
美國總統(tǒng)簽署了《2022芯片與科學(xué)法案》，設(shè)置“中國護(hù)欄”條款，限制企業(yè)在中國芯片產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。事實(shí)上，中國芯片產(chǎn)業(yè)被卡脖子由來已久，原料、技術(shù)、供應(yīng)鏈等方方面面深受外國掣肘，甚至是我們最常見的水，當(dāng)然，這里的水指的并不是我們?nèi)粘Ｉ钪械淖詠硭?，而?ldquo;超純水”。
超純水是指電阻率達(dá)到18 MΩ*cm(25℃)的水。這種水中除了水分子外，幾乎沒有什么雜質(zhì)，更沒有細(xì)菌、病毒、含氯二噁英等有機(jī)物，也沒有人體所需的礦物質(zhì)微量元素，也就是幾乎去除氧和氫以外所有原子的水。
產(chǎn)品介紹：
Onyx的EX-UPW-TOC產(chǎn)品主要由高透185nm的紫外燈管，高輸出石英套管，內(nèi)外電解拋光的一體化紫外反應(yīng)器，高度精確的UV強(qiáng)度傳感器及智能自控系統(tǒng)組成。
185nmUV主要用于生產(chǎn)超純水過程中去除TOC有機(jī)物，降低TOC出水指標(biāo)，使出水滿足美國ASTM超純水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)及電子工業(yè)部電子級水水質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。
電子級水UV-TOC控制系統(tǒng)
半導(dǎo)體超純水產(chǎn)品規(guī)格：
| 處理水量 | 2~60m3/h |
| 燈管配置 | 12~48支 |
| 燈管類型 | 85w/155w(185/254nm雙波段) |
| 石英套管 | T＞80%@185nm |
| 鎮(zhèn)流器 | 50~100%輸出功率可調(diào) |
| 反應(yīng)器材質(zhì) | 316L |
| 潔凈等級 | 內(nèi)外電解拋光、表面光潔度10以上（≤Ra0.2） |
| 法蘭尺寸 | DN50~DN200 |
| 額定壓力 | PN10 |
| 控制柜等級 | IP55，碳鋼噴塑 |
| 控制系統(tǒng) | 本地/遠(yuǎn)程、觸摸屏、連接SCADA系統(tǒng) |
| UV強(qiáng)度傳感器 | 分辨率0.01mw/cm2 |
集成電路超純水應(yīng)用領(lǐng)域：
1. 半導(dǎo)體材料、器件、印刷電路板和集成電路板
2. 電解電容器生產(chǎn)鋁箔及工作件的清洗
3. 電子管生產(chǎn)、電子管陰極涂敷碳酸鹽配液
4. 黑白顯像管熒光屏的生產(chǎn)、波殼清洗、沉淀、洗膜、管頸清洗
5. 液晶顯示器的生產(chǎn)、屏面清洗
6. 集成電路生產(chǎn)中高純水清洗硅片
7. LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏的生產(chǎn)
