一、 產(chǎn)品概述
激光干涉儀以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，采用激光干涉原理來(lái)測(cè)量位移長(zhǎng)度，是至今的高精度測(cè)量?jī)x器，其測(cè)量結(jié)果可溯源到長(zhǎng)度自然基準(zhǔn)，在精密測(cè)量和制造領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。
QL--600激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，技術(shù)源于大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室數(shù)十年研發(fā)成果，擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，全產(chǎn)業(yè)鏈自主生產(chǎn)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國(guó)外同類產(chǎn)品，擁有較高的測(cè)量精度和性價(jià)比，其穩(wěn)定的重復(fù)性和高精度得到業(yè)界，受到用戶的。
QL--600激光干涉儀系統(tǒng)主要設(shè)計(jì)用于機(jī)床及三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)位置精度和幾何精度的評(píng)價(jià)與標(biāo)定，并被設(shè)計(jì)得便攜、易于調(diào)整和方便使用。該系統(tǒng)由光學(xué)組件和測(cè)量設(shè)備組成，并可配置成各種不同的應(yīng)用組合。QL--600激光干涉儀配置不同光學(xué)鏡組可測(cè)量線性定位精度、角度、直線度、平行度、垂直度、平面度。
二、 結(jié)構(gòu)原理
激光干涉儀是一種以激光波長(zhǎng)為已知長(zhǎng)度，利用邁克爾遜干涉原理測(cè)量位移的通用長(zhǎng)度測(cè)量?jī)x器。激光干涉儀一般使用氦氖激光，其光為紅色，真空波長(zhǎng)為632.99nm。
當(dāng)兩束振動(dòng)方向相同、頻率相同，位相相同或位相差恒定的光在空間任一點(diǎn)相遇時(shí)其位相差也是恒定的，因而在空間某些地方的振動(dòng)始終加強(qiáng)，而在另一些地方的振動(dòng)始終減弱或抵消，這種現(xiàn)象稱為光的干涉。
QL--600激光干涉儀的激光器輸出含兩種正交模式的雙縱模激光，這兩種模式的光強(qiáng)用光敏二極管測(cè)量，通過(guò)加熱器控制激光管長(zhǎng)度來(lái)實(shí)現(xiàn)穩(wěn)頻。
在線性測(cè)量中，角錐反射鏡將兩束光返回到分光鏡中，光束疊加并彼此干涉。如果測(cè)量光路長(zhǎng)度改變（角錐反射鏡C移動(dòng)），干涉光束的相對(duì)相位將改變，由此產(chǎn)生的相長(zhǎng)干涉和相消干涉的循環(huán)將導(dǎo)致疊加光束強(qiáng)度的明暗周期變化。角錐反射鏡每移動(dòng)316nm（因?yàn)榇艘苿?dòng)會(huì)造成633nm的光路長(zhǎng)度變化），就會(huì)出現(xiàn)一個(gè)光強(qiáng)變化循環(huán)（明－暗－明），通過(guò)計(jì)算這些循環(huán)來(lái)測(cè)量移動(dòng)并進(jìn)行進(jìn)行相位細(xì)分。
三、 儀器特點(diǎn)
1、的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)
QL--600激光干涉儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，技術(shù)源于大學(xué)精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室數(shù)十年研發(fā)成果，擁有的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)。生產(chǎn)廠家是極少數(shù)擁有激光器和激光干涉儀全套產(chǎn)線的高科技企業(yè)，技術(shù)指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國(guó)外同類產(chǎn)品，其的性能和的穩(wěn)定性受到。
2、高精度高穩(wěn)定性
QL--600激光干涉儀采用高性能的穩(wěn)頻氦氖激光器， 其真空波長(zhǎng)為632.99nm，且長(zhǎng)期波長(zhǎng)穩(wěn)
定性優(yōu)于±0.04ppm。線性測(cè)量距離大于40m，測(cè)量分辨力達(dá)到1nm，具有的測(cè)量精度。
3、全自動(dòng)智能測(cè)量
在檢定線性定位精度時(shí)，操作者只需設(shè)定好測(cè)量參數(shù)，在軟件界面點(diǎn)擊【開始檢定】按鈕，系統(tǒng)即可完成定位精度的全自動(dòng)測(cè)量，極大減輕了操作者的勞動(dòng)強(qiáng)度，同時(shí)也避免人工操作引入的誤差
.4、自動(dòng)計(jì)算、自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、自動(dòng)生成報(bào)表
檢定過(guò)程中自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、自動(dòng)生成報(bào)表，海量檢定記錄存儲(chǔ)，隨時(shí)查詢打印。
四、 技術(shù)參數(shù)
序號(hào) | 貨物名稱 | 主要規(guī)格 |
一、 | QL--600激光干涉儀 | |
1.1 | QL--600激光頭 | 激光功率：＞0.5mW 波長(zhǎng)長(zhǎng)期穩(wěn)定度：±0.04ppm 分辨率：1nm 測(cè)量速度：4m/s 預(yù)熱時(shí)間：≤5min 動(dòng)態(tài)采集頻率：50kHz 工作溫度范圍：0-40℃ 存儲(chǔ)溫度范圍：(-20~70)℃ 環(huán)境濕度：(0~95)%RH |
1.2 | 環(huán)境測(cè)量及波長(zhǎng)補(bǔ)償單元 | 相對(duì)濕度：工作范圍 0-95%RH 測(cè)量精度 ±5%RH 空氣壓力：工作范圍 65-115kPa 測(cè)量精度 ±100Pa 空氣溫度：工作范圍 0℃-40℃ 測(cè)量精度 ±0.1℃ 材料溫度：工作范圍 0℃-55℃ 測(cè)量精度 ±0.1℃ 分辨力 0.01℃ |
1.3 | 線性位移測(cè)量單元 | 測(cè)量范圍：≥40m 分 辨 率：1nm 測(cè)量精度：±0.5ppm (0~40)℃ 測(cè)量速度：4m/s |
二、 | 直線度測(cè)量單元（0.1-4m） | 直線度測(cè)量范圍：±3mm 直線度測(cè)量精度：±0.5%示值±0.5±0.15L2μm （L為測(cè)量距離,單位米） 分 辨 率： 0.01μm |
五、 檢定依據(jù)
QL--600激光干涉儀滿足JBT 5610-2006 《激光干涉儀》，JJG 353-2006 《633nm穩(wěn)頻激光器檢定規(guī)程》，JJG 739-2005《激光干涉儀檢定規(guī)程》等國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)。
六、 儀器校準(zhǔn)
QL--600激光干涉儀根據(jù)JJG 739-2005《激光干涉儀檢定規(guī)程》進(jìn)行校準(zhǔn)。
七、 產(chǎn)品配置清單
編號(hào) | 產(chǎn)品描述 | 數(shù)量 | 備注 |
一、QL--600激光干涉儀 | |||
1激光頭及安裝附件 | |||
1-1.1 | QL--600激光頭 | 1 | |
1-1.2 | 電源適配器及線纜 | 1套 | 電源適配器、三芯插頭 |
1-1.3 | USB連接線 | 1 | |
1-1.4 | 三腳架 | 1 | |
1-1.5 | 云臺(tái) | 1 | |
1-1.6 | 安全攜帶箱 | 1 | |
1-1.7 | 三腳架攜帶包 | 1 | |
2 環(huán)境補(bǔ)償組件 | |||
1-2.1 | LC2000傳感器適配卡 | 1 | |
1-2.2 | 空氣傳感器 | 1 | |
1-2.3 | 材料傳感器 | 3 | 注：標(biāo)配一個(gè) |
1-2.4 | 傳感器線纜 | 1套 | USB線1根、傳感器連接線4根 |
3 線性位移測(cè)量組件 | |||
1-3.1 | 線性反射鏡 | 2 | |
1-3.2 | 干涉鏡 | 1 | |
1-3.3 | 調(diào)光靶標(biāo) | 1 | |
4 光學(xué)鏡安裝組件 | |||
1-4.1 | 鏡架（配螺紋桿） | 2 | |
1-4.2 | 支桿 | 3 | M8 |
1-4.3 | 磁力表座 | 2 | |
1-4.4 | 固定底板 | 2 | |
1-4.5 | 氣泡水平儀 | 1 | |
1-4.6 | 磁力表座適配器 | 1 | M8 |
二、直線度測(cè)量組件 | |||
2-1 | 直線度干涉鏡（0.1-4m） | 1 | |
2-2 | 直線度反射鏡（0.1-4m） | 1 | |
三、電腦 | |||
3-1 | 筆記本電腦/臺(tái)式電腦 | 1 | |
三、軟件 | |||
3-1 | 測(cè)量分析軟件 | 1 | U盤 |
四、使用手冊(cè) | |||
4-1 | QL-600激光干涉儀使用手冊(cè) | 1 | U盤 |
4-2 | QL-600激光干涉儀軟件使用手冊(cè) | 1 | U盤 |
五、檢測(cè)報(bào)告 | |||
5-1 | 中國(guó)出具檢定證書 | 1 | |
六、配置清單 | |||
6-1 | QL-600激光干涉儀配置清單 | 1 | |
