儀器特點(diǎn):
1、X、Y、Z三軸全自動(dòng)測(cè)量?jī)x
2、高清130萬(wàn)數(shù)字相機(jī)
3、Z軸軟件自動(dòng)精準(zhǔn)聚焦。該測(cè)量軟件高度集成, 能提高檢測(cè)效率及精度
4、主要應(yīng)用檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的共面度、平面度、平整度
5、儀器又稱激光平面度測(cè)量?jī)x
主要參數(shù):
型號(hào) | AG300CNC | |
行程(mm) | 300×200×200 | |
外形尺寸(mm) | 1450X1050X1650 | |
重量(kg) | 450 | |
承重(kg) | 20 | |
X 、Y軸測(cè)量精度(μm) | 1.5+L/250 | |
Z軸測(cè)量精度(μm) | 2+L/200 | |
重復(fù)精度(μm) | 2 | |
X、Y軸運(yùn)動(dòng)速度 | 0-100mm/S(任意選擇) | |
Z軸運(yùn)動(dòng)速度 | 0-20m/S(任意選擇) | |
操作方式 | 搖桿+軟件 | |
光柵尺 | 0.0001mm分辨率光柵尺 | |
導(dǎo)軌 | 中國(guó)臺(tái)灣“上銀”精密級(jí)直線導(dǎo)軌 | |
絲桿 | 中國(guó)臺(tái)灣“TBI”研磨滾珠絲桿 | |
軸承 | 日本原裝“NSK”雙例組合向心球軸承 | |
電機(jī) | 日本“松下”交流伺服電機(jī),定位精度≤0.001mm | |
光電限位開(kāi)關(guān) | 日本原裝“歐姆龍”光電限位開(kāi)關(guān) | |
圖像傳感器CCD | 130萬(wàn)像素彩色高清數(shù)字CCD(千兆網(wǎng)) | |
光源 | 輪廓光 | LED冷光源,球頂透射光實(shí)現(xiàn)平行光照射 |
表面光 | 4環(huán)8分區(qū)LED冷光源,軟件操控,減少電氣元件損壞。 | |
光學(xué)鏡頭 | 0.7-4.5X同軸光自動(dòng)變倍鏡頭 | |
金相物鏡 | 10X/0.28(35mm長(zhǎng)工作距離) | |
放大倍率 | 光學(xué)放大倍率:7~45X;影像放大倍率:240~1100X | |
軟件 | SBK-CNC專用全自動(dòng)標(biāo)準(zhǔn)版測(cè)量軟件 | |
電源 | 220V/50Hz/3A | |
工作環(huán)境 | 溫度25℃±2℃,溫度變化<2℃/hr,濕度30~80% | |
影像儀專用桌 | 內(nèi)置開(kāi)關(guān)電源、控制器、電源控制開(kāi)關(guān)、指示燈、急停開(kāi)關(guān)、移動(dòng)滾輪 |
Z軸自動(dòng)聚焦、對(duì)焦重復(fù)性可達(dá)<0.002mm
適用于半導(dǎo)體封裝、焊接貼片、環(huán)路高度、FPD面板、(LCM)晶片級(jí)CSP等領(lǐng)域
可選配激光測(cè)量平面度及深度。