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廣電計量檢測集團股份有限公司

混合氣體化學氣相沉積CVD系統(tǒng)

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱河南順博熱處理設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號S-1200S-CV
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/3/16 12:28:18
  • 訪問次數384
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河南熱處理設備有限公司是一家專業(yè)從事熱處理產品的研發(fā)、生產、制造、銷售、服務于一體的。公司產品涵蓋箱式爐、高溫管式爐、氣氛爐、箱式馬弗爐、CVD系統(tǒng)、PECVD設備、牙科爐、升降爐、真空爐、定制爐型等,廣泛用于粉末冶金、真空釬焊、陶瓷燒結、新能源材料研發(fā)、金屬光亮處理、零部件退火、科學研究等多個領域。多年來公司堅持以客戶需求為導向,致力于不斷提高產品品質和完善技術服務,憑借過硬的技術、豐富的實踐積累,先后研發(fā)出了一系列具有水準的實驗電爐和工業(yè)爐。電爐擁有完整、科學的質量管理體系,標準化的生產制造車間,具有年產1000臺電爐生產制造能力,生產規(guī)模位居,是國內具有影響力的實驗電爐、工業(yè)爐生產制造商。公司目前有一線員工百余人,多名專業(yè)熱工技術工程師和設計制造工程師, 并聯合多所重點科研院校共同建立了多個技術研發(fā)項目,為每一位客戶提供高技術含量的產品解決方案和優(yōu)質的服務是電爐所有人的神圣職責!
真空馬弗爐
混合氣體化學氣相沉積CVD系統(tǒng)由高溫管式爐,真空壓強控制系統(tǒng),多通道高精度數字質量流量控制系統(tǒng),過壓保護及冷凝等部分組成,可實現真空達0.1mbar混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。
混合氣體化學氣相沉積CVD系統(tǒng) 產品信息
功能特點:
由高溫管式爐,真空壓強控制系統(tǒng),多通道高精度數字質量流量控制系統(tǒng),過壓保護及冷凝等部分組成,可實現真空達0.1mbar混合氣體化學氣相沉積和擴散試驗。
產品用途:
適用于高校、科研院所用于真空鍍膜、納米薄膜材料制備,生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等,也可作為擴展等離子清洗刻蝕使用
產品參數
  • 機器電源:AC220V,50/60Hz;
  • 額定功率4kw
  • 爐管:高純石英管,高溫下化學穩(wěn)定性強,耐腐蝕,熱膨脹系數極小,能承受驟冷驟熱的溫度變化;
  • 爐管尺寸:Φ80*/1000mm
  • 加熱元件:0Cr27Al7Mo2
  • 加熱區(qū)長度:400mm(可定制)
  • 恒溫區(qū)長度:200mm(可定制)
  • 工作溫度:≤1150℃
  • 升溫速率:≤10℃/min
  • 溫控系統(tǒng):溫度控制采用人工智能調節(jié)技術,具有PID調節(jié)、自整定功能、30段升降溫程序
  • 測溫元件:N型熱電偶
  • 恒溫精度:±1℃
  • 保護及提醒:超溫、斷偶故障警報及斷電保護、高精度質量流量計通過數據接口連接電腦,配置軟件實時人機交互界面
  • 混氣系統(tǒng):四通道質量流量控制,可同時通入四種不同氣體、內置不銹鋼混氣箱,每路氣體管路均配有逆止閥、每路氣體進氣管路配有不銹鋼針閥
  • 流量規(guī)格:0~30SLM
  • 控制精度:±1.0%F.S
  • 極限真空:6.0×10-5Pa
  • 工作真空:7.6×10-4Pa
  • 冷凝系統(tǒng):采用低溫恒溫槽,溫度可達-20℃、內置不銹鋼真空冷凝灌,采用KF接頭,清理收集方便、槽內冷液可外引,冷卻機外實驗容器,也可在槽內直接進行低溫、恒溫實驗
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