特點(diǎn)：
1、斐索型系統(tǒng)保證精密測(cè)量
2、創(chuàng)XIN算法提供在振動(dòng)環(huán)境中也能進(jìn)行可靠的測(cè)量
3、圖像界面，易于生產(chǎn)線上操作
4、工業(yè)級(jí)Metropro③軟件
規(guī)格參數(shù)：
| 測(cè)量功能： | 精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)系統(tǒng)的表面面形、 精密測(cè)量光學(xué)系統(tǒng)的傳輸波前 |
| 測(cè)量技術(shù)： | QPSI快速機(jī)械相移模式和傳統(tǒng)的機(jī)械相移干涉模式（PSI） |
| 校準(zhǔn)系統(tǒng)： | 快速條紋采樣系統(tǒng)(QFAS) (雙光點(diǎn)定位于十字線) |
| 測(cè)量光束直徑： | 4″（102mm）或6″（152mm） |
| 對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV： | 4″：±3°；6″：±2°； |
| 光學(xué)中心線： | 4.25″（108mm） |
| 激光光源： | 大功率穩(wěn)頻氦-氖激光，III |
| 波長(zhǎng)： | 633 nm |
| 頻率穩(wěn)定度： | < 0.0001 nm |
| 相干長(zhǎng)度： | ＞100m |
| 成像分辨率： | 1024 x 1024像素 |
| 幀速： | 100Hz（PSI） |
| 數(shù)據(jù)采集時(shí)間： | 130-300ms |
| 數(shù)據(jù)模式： | 8位 |
| 放大： | 電控1-5X |
| 偏振： | 接近圓偏振（1.2：1或者更好） |
| 光曈調(diào)焦范圍： | 4″：±2.5m；6″：±5.5m； |
| 計(jì)算機(jī)和軟件： | 高性能DELL PC，Windows7，64位， ZYGO軟件 MetroproTM 9和MetroproTM X（2） |
| 安裝構(gòu)造： | 水平臥式或垂直立式 |
| 附件 | 詳細(xì)參考ZYGO激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463 |
| 尺寸(長(zhǎng)x寬x高) | 4″：69 x 31 x 34 cm (27.3 x 12.1 x 13.4 in.)； 6″：92 x 31 x 34cm （36.4 x 12.1 x 13.4 in.） |
| 重量 | 4″:≤85lb（38Kg）；6″:≤100lb（45Kg） |
| 電源 | 100-240VAC，50/60Hz |
工作環(huán)境
| 溫度： | 15°C - 30°C (59°F - 86°F) |
| 溫度變化率： | ＜1.0°C/15min |
| 濕度： | 相對(duì)濕度5% - 95% , 無(wú)凝結(jié) |
| 隔振： | QPSI模式可以在振幅不超過(guò)150nm的震動(dòng)環(huán)境下進(jìn)行測(cè)量； 機(jī)械移相測(cè)量模式推薦使用被動(dòng)隔振系統(tǒng)。 |
性能參數(shù)
| RMS重復(fù)性（3）： | < 0.06 nm, λ/10,000 (2σ) |
| RMS波前重復(fù)性（4）： | < 0.35 nm,λ/1800 (mean + 2σ) |
| 像素峰值偏差(5)： | < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %) |
兩種模式下測(cè)試有振動(dòng)的腔
PSI模式 13位計(jì)算法 QPSI模式 5ms快門(mén)速度
注：
1、給出的環(huán)境參數(shù)是指可以操作使用的環(huán)境，不代表儀器要達(dá)到性能所需要的環(huán)境要求。
2、僅在MetroProX軟件中有QPSI測(cè)量模式。
3、簡(jiǎn)單RMS重復(fù)性定義為對(duì)一個(gè)4英寸平面短腔，做36次連續(xù)測(cè)量
（每次16次相位平均），所測(cè)得的RMS的標(biāo)準(zhǔn)差的2倍。
4、波前RMS重復(fù)性定義為，把測(cè)得的均方根差的平均值加上標(biāo)準(zhǔn)差的2倍作為波前RMS重復(fù)性。
其中標(biāo)準(zhǔn)差定義為把奇數(shù)次測(cè)量的均值作為參考值，而把偶數(shù)次測(cè)量值相對(duì)于此均值求得
標(biāo)準(zhǔn)差；計(jì)算基于36次連續(xù)測(cè)量（每次16次相位平均）。
5、像素峰值偏差:定義為對(duì)于36次連續(xù)測(cè)量（每次16次相位平均），取圖像峰值標(biāo)準(zhǔn)差的 99.5%；
這個(gè)結(jié)果測(cè)量系統(tǒng)隨時(shí)間變化的行為（或者A類不確定性）。
