好處
- 測量范圍可達 1 X 10-9 - 1 X 10-2 mbar (7.5 X 10-10 - 7.5 X 10-3Torr)
- 全金屬冷陰極傳感器(潘寧)帶有陶瓷饋入裝置
- 新創(chuàng)的電極幾何形狀提供的點火屬性
- 等離子點火后高壓降低以及采用鈦陰極板,降低了污染風(fēng)險,即使是使用氬氣進行濺射操作期間
- 陽極環(huán)和鈦陰極可以輕松進行清潔或更換
- 最小化真空計附近的磁場強度
- LED 指示器用于顯示電源及等離子點火狀態(tài)
- 對數(shù)模擬輸出信號
- 現(xiàn)場總線接口(Profibus DB、DeviceNet)允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計輕松集成到真空系統(tǒng)中
典型應(yīng)用
- 高真空壓力監(jiān)控
- 蒸發(fā)鍍?yōu)R系統(tǒng)
- 高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
規(guī)格
類型 | PEG100 | |
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測量范圍 | 1 x 10-9 to 1 x 10-2 | |
精度 | ||
10-8 至 10-4 毫巴 | % of reading | ±30 |
壓力,() | bar | 10 |
溫度 | ||
運行(環(huán)境) | °C | +10 to +50 |
貯存 | °C | -20 to +75 |
無電子設(shè)備,烘烤 | °C | 350 |
帶電子元件,在法蘭處烘烤 | °C | 70 |
供應(yīng) | ||
電壓 | V (dc) | 14.5 to 36 |
消耗, | W | <> |
輸出信號模擬 | ||
輸出信號 | V | 0 to 10.6 |
測量范圍 | V | 0.66 to 10 |
電壓與壓強之間的關(guān)系 | volts per decade | 1.333 |
連接器 | FCC 68, female, 8 pin (shielded) | |
電纜長度,(模擬) | m (ft.) | 100 (330) |
暴露于真空的材料 | Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti | |
內(nèi)部容積 | cm³ (in.³) | 21 (1.28) |
重量,接近 | g | 500 |
保護類型 | IP40 | |
DeviceNet™ | ||
設(shè)備類型 | generic | |
顯示對等網(wǎng)絡(luò)傳訊 | no | |
I / O 對等傳訊 | no | |
配置一致性值 | no | |
默認節(jié)點恢復(fù) | no | |
波特率 | kBaud | 125 / 250 / 500 |
主板 / 掃描器 | no | |
I / O 從屬傳訊: 位觸發(fā) | yes | |
I / O 從屬傳訊: 輪詢 | yes | |
I / O 從屬傳訊: 周期 | yes | |
I / O 從屬傳訊: 狀態(tài)改變 (COS) | yes | |
DeviceNet™ 電源 | V (dc) | 11 to 25 |
DeviceNet™ 連接器 | Phoenix Combicon, 5 pin |
零件號
PEG100 | |
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零件號 | 明細 |
351-000 | 真空計 |
351-002 | PEG100-P 規(guī)管 |
351-003 | PEG100D 型真空計 |
351-004 | PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F |
351-490 | 陰極片 |
數(shù)據(jù)表
手冊
三維步驟文件
其他文件