SRDE氣體質量流量控制器概要:
氣體質量流量控制器是一種計測和控制流體流量的裝置。流體的流量計測通??煞譃轶w積流量和質量流量。體積流量由于受到計測時環(huán)境溫度和壓力的影響,如需要準確測定時,必須對溫度和壓力進行調(diào)整。而質量流量計在測定流體質量的時候,不容易受到環(huán)境溫度和壓力等外在因素的影響而能準確地進行流體測量。在必須對流量進行精確計測和控制的領域,質量流量控制器被廣泛的使用,例如半導體工業(yè)、太陽能光電工業(yè)和微加工制造業(yè)等。
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