SVZK-300型多功能真空實(shí)驗(yàn)儀是一個(gè)真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，適合于對(duì)學(xué)生開展真空實(shí)驗(yàn)教學(xué)?？蛇M(jìn)行真空蒸鍍、磁控濺射，它也可以在高純
氬氣的保護(hù)之下進(jìn)行多種離子處理。用本設(shè)備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進(jìn)行成分分析。傳統(tǒng)的真空實(shí)驗(yàn)儀器大都由金屬部
件組成，很多主要的實(shí)驗(yàn)過(guò)程不直觀，學(xué)生只能通過(guò)儀表了解物理過(guò)程。本設(shè)備真空室部分采用高強(qiáng)度玻璃制造，儀器結(jié)構(gòu)緊湊合理，操作
簡(jiǎn)單，物理過(guò)程直觀，容易引起學(xué)生的興趣，利于提高學(xué)生的實(shí)驗(yàn)?zāi)芰屠碚撀?lián)系實(shí)際的能力。
可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)：
1、真空的獲得與測(cè)量；2、蒸發(fā)法薄膜制備 3、直流磁控濺射鍍膜
設(shè)備的組成：
SVZK-300型多功能真空實(shí)驗(yàn)儀由電氣控制系統(tǒng)與真空系統(tǒng)組成，其中電氣控制系統(tǒng)包括控制電路、真空測(cè)量?jī)x與測(cè)量?jī)x表；真空系統(tǒng)
包括玻璃真空室、真空管路、真空機(jī)組（直聯(lián)機(jī)械旋片泵和分子泵構(gòu)成二級(jí)真空系統(tǒng)）、真空測(cè)量。
技術(shù)參數(shù)：
1、真空室：采用硬質(zhì)玻璃制造，可直接觀察真空室內(nèi)各部件及實(shí)驗(yàn)過(guò)程。包括真空室底盤、二對(duì)無(wú)氧銅電極、烘烤加熱器、蒸發(fā)擋板、襯底加熱燈管。
2、分子泵：本系統(tǒng)采用F160/620渦輪分子泵，其冷卻方式為通水冷卻，必須采用水冷。
3、真空控制系統(tǒng)：直觀地反映整個(gè)真空抽氣過(guò)程的原理和各閥門工作狀態(tài)。
4、真空測(cè)量系統(tǒng)：采用數(shù)顯復(fù)合真空計(jì)測(cè)量系統(tǒng)的真空度，一路電離規(guī)和一路熱偶規(guī)構(gòu)成高、低真空測(cè)量。(儀器自帶2路熱偶規(guī),可根據(jù)需要安裝在不同位置,需額外增加配件.)熱偶規(guī)： 4.0x102Pa——1.0x10-1Pa電離規(guī)： 1.0x10-1Pa——1.0x10-5Pa
5、烘烤加熱系統(tǒng)：真空室烘烤和襯底加熱采用高品質(zhì)溫度控制器進(jìn)行加熱控溫；
6、蒸發(fā)鍍膜系統(tǒng)：采用單相整流固態(tài)調(diào)壓方式控制蒸發(fā)鍍膜電源，蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)及電壓、電流指示。
7、電源總控系統(tǒng)：整機(jī)的電源控制及工作狀態(tài)指示。
