激光干涉儀原理
單頻激光干涉儀是干涉位移精密測量的重要方法，具有大量程、納米級分辨率、波長溯源等典型優(yōu)點，但因為單頻激光干涉儀是直流測量系統(tǒng)，必然具有直流光平和電平零點漂移的弊端。針對這種狀況，中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)出單頻激光干涉儀 ——SJ6000激光干涉儀。
SJ6000激光干涉儀
SJ6000激光干涉儀作為單頻激光干涉儀，是在一般單頻激光干涉儀基礎上發(fā)展的一種外差式干涉儀，也叫雙頻激光干涉儀。是用頻率為幾兆赫的交流信號作為干涉信號，這樣當可動反射鏡移動的時候，干涉信號根據(jù)多普勒效應原理，原有的交流信號頻率增加或減少了A/，結果依然是一個交流信號。這樣，即使光強大幅度衰減，G仍可得到合適的電信號。同時不僅能進行動態(tài)高速測量，還能組合相應的功能模塊元件測量振動幅度、角度、線速度、平面度等，可以棄普通車間進行應用，環(huán)境適應能力強。
數(shù)控機床精度校準
測量機床回轉軸精度
測量機床直線度
產(chǎn)品參數(shù)
穩(wěn)頻方式：雙頻激光熱穩(wěn)頻
穩(wěn)頻精度：0.05ppm
線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃
線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）
角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m
測量分辨力：1nm
動態(tài)采集頻率：50KHz
預熱時間：≤6分鐘
工作溫度范圍：（0-40）℃
環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%
主要特點：應用范圍廣、測量精度高、操作方便
產(chǎn)品功能特點
1）功能廣
- 可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
- 具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；
- 可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
- 可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；
- 可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量；
- 支持手動或自動進行環(huán)境補償。
- 采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；
- 干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠；
- 采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
- 簡潔化的記錄管理；
- 向導式的操作流程；
- 豐富的應用功能模塊；
- 友好的人機界面；
- 支持中文、英文和俄文界面；
- 支持企業(yè)專屬模板定制。
配件與證書
中圖儀器堅持以技術創(chuàng)新為發(fā)展基礎，現(xiàn)有員工200余人，集光、機、電、信息技術于一體的*技術團隊，致力于精密測量、計量檢測等儀器設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。產(chǎn)品已廣泛應用于計量質量檢測機構、汽車、機械制造、半導體加工、3C電子等行業(yè)，在精密測量、計量檢測領域的技術進步做出了應有的貢獻。未來，中圖儀器仍將繼續(xù)專注于未來！
