①SU3900掃描電子顯微鏡標配多功能超大樣品倉,可應對大型樣品的觀察
■樣品臺可搭載超大/超重樣品
通過更換樣品提示,可防止由于與樣品的接觸而損壞設備或樣品
選配樣品交換倉,可在主樣品倉保持真空的狀態(tài)下快速更換樣品,大大提高了工作效率
具備樣品臺移動限制解除功能,提高了自由度*
紅外CCD探測器,提高了樣品臺移動的安全性
■支持全視野移動。SEM MAP支持超大樣品的全視野觀察
與GUI聯(lián)合,可配備樣品倉室導航相機
覆蓋整個可觀察區(qū)域
支持360度旋轉(zhuǎn)
②隨著各種自動化功能的強化,操作性能得到了進一步優(yōu)化。
■一個鼠標就能夠輕松操作的簡約GUI
■各種自動化功能
自動調(diào)整算法經(jīng)改良后,等待時間減少至以往的1/3以下(※S-3700N比例)
提高了自動聚焦精度
搭載Intelligent Filament Technology(IFT)
■Multi Zigzag,可實現(xiàn)多區(qū)域的大視野觀察
■Report Creator,可利用獲得的數(shù)據(jù)批量生成數(shù)據(jù)報告
③可提供滿足測試需求的應用解決方案
■可滿足多種觀察需求的探測器
搭載高靈敏度UVD*,支持CL觀察
高靈敏度半導體式背散射電子探測器,切換成分/凹凸等多種圖像
■配備了多功能超大樣品倉,可以搭載多種配件
>■SEM/EDS一體化功能*
■三維顯示測量軟件 Hitachi Map 3D*
■支持圖像測量軟件Image pro