CYG513型薄形壓力傳感器是專為空氣動力學研究中，風洞中試驗模型表面壓力場分布設計的。它尤其適用于模型很薄，無法用打孔安裝微型探針型傳感器的應用工況。將極薄的傳感器直接貼裝或挖淺坑埋下平貼齊模型表面安裝。它極薄的專用柔性引線可直接貼在模型表面上。因此它基本上不影響被測流場。
CYG513的壓力敏感元件采用*的MEMS技術設計與制造。三維集成、雙面加工的硅壓阻壓力敏感元件具有優(yōu)秀的線性精度、離子注入、精細光刻技術制作的惠斯頓應變電橋的高度一致性使其具有很小的溫度漂移、體微機械加工，精密各向異性腐蝕及硅-玻璃陽極鍵合技術使得硅薄膜力敏結(jié)構具有很高靈敏度，很優(yōu)良穩(wěn)定性，很優(yōu)良動態(tài)性能的同時具有較薄的厚度。綜合力敏結(jié)構與襯底加固結(jié)構的總厚度僅為0.9mm，有利于獲得較薄最終尺寸的薄形傳感器。
CYG513為表壓測量模式，標準壓力量程為2、5、10、25、40、60、100、160、250、400、600、1000kpa
CYG513外形為薄圓扣式。最小直徑為ф10mm、厚度為4 mm，參考壓力既可在背面開口引出（513G），也可以在側(cè)面引線部用毛細管引處（513D），引出線為5線柔性電線，長度為1m，在1m終點處接有用PCB板制成的電橋補償平衡器，柔性電線的厚度為0.15 mm，寬度為4 mm。（也可用Φ2.5mm多芯屏蔽電纜出線）
CYG513由于用敏感元件反面承壓，因此它有優(yōu)良的介質(zhì)兼容性，也可用于水流動力學用途。它有相當寬的工作溫區(qū)和非常優(yōu)良的動態(tài)頻響特性，可使用在低至零頻，高至數(shù)萬赫茲頻帶。
1、性能指標參數(shù)
| 指標/檔級 | 非線性精度 ±%FS | 遲滯重復性 %FS | 零位溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 靈敏度溫度系數(shù) ×10-4FS /℃ | 零位時漂 ＜mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2、滿量程輸出： 最小值30mv 典型值80mv 值130mv
3、輸入輸出阻抗：最小值3 kΩ 典型值5 kΩ 值7 kΩ
4、輸入工作電流：1mA（恒流源）
5、工作溫度范圍：-55℃～120℃
6、補償溫度范圍：-10℃～80℃
7、過載能力： 額定量程的200%
8、加速度靈敏度：＜0.001%FS/g
9、外形尺寸圖：
