可林艾爾PerfectAirTM系列超高精恒溫恒濕空調(diào)
溫度控制精度：±0.1℃
濕度控制精度：±1.5%
應(yīng)用行業(yè)：1.超精密加工：
可精密控制納米~亞微米級(jí)加工設(shè)備周?chē)鷾囟鹊姆€(wěn)定狀態(tài)。防止設(shè)備本身與加工品因溫度變化發(fā)生伸縮造成的加工精密誤差。
如：超精密非球面加工機(jī)、超精密單點(diǎn)精鋼石車(chē)床等。
2.精密測(cè)量·檢查 ：通過(guò)保證被測(cè)量物與精密測(cè)量?jī)x器周?chē)鷾囟鹊姆€(wěn)定性，到達(dá)提升測(cè)量精度的目的。
如：超精密三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x等。
3. 曝光 保持電子束曝光設(shè)備內(nèi)部溫度均勻，使執(zhí)行光源與目標(biāo)物冷卻。防止光線的折射率發(fā)生改變，達(dá)到曝光品質(zhì)優(yōu)良。
4.涂布 保持電子束曝光設(shè)備內(nèi)部溫度均勻，使執(zhí)行光源與目標(biāo)物冷卻。防止光線的折射率發(fā)生改變，達(dá)到曝光品質(zhì)優(yōu)良。
5.電子束曝光 控制溫濕度保持穩(wěn)定，防止因?yàn)殡娮邮臏囟炔痪鶆?，造成折射與遮罩基板的伸縮。以達(dá)到提升掃描品質(zhì)的目的。
如：光刻機(jī)
6.基板印刷 印刷機(jī)周?chē)鷾貪穸缺３址€(wěn)定，讓墨水的粘度與揮發(fā)量保持穩(wěn)定，以達(dá)到提升品質(zhì)的目的。
如：絲網(wǎng)印刷機(jī)
備注：
#1：可控制的溫度因周邊環(huán)境的溫濕度（吸入空氣的溫濕度）發(fā)生變化；
#2：周邊環(huán)境條件為溫度變化梯度在1℃/h、濕度變化梯度在5%/h時(shí)，溫度可控制在±0.1℃；
可控制的溫濕度精度約為周邊環(huán)境溫度變化梯度的1/10℃。
#3：周邊環(huán)境條件為24℃ 50%、蒸發(fā)溫度為5℃時(shí)的能力。
溫度控制精度：
±0.1℃以?xún)?nèi)（0.01℃解析能力）
節(jié)能設(shè)計(jì)：
廢熱循環(huán)利用技術(shù)
ATC控制：
與加工區(qū)域有效地控制與保證
精美外觀設(shè)計(jì)：
富鋁型板噴塑，流線型外觀，經(jīng)典工業(yè)灰
設(shè)計(jì)，美觀大方，高雅得體
計(jì)量器具：
運(yùn)行數(shù)據(jù)數(shù)字化管理
降噪設(shè)計(jì)：
低振動(dòng)，低噪音
