可林艾爾PerfectAirTM系列超高精恒溫恒濕空調
溫度控制精度：±0.1℃
濕度控制精度：±1.5%
應用行業(yè)：1.超精密加工：
可精密控制納米~亞微米級加工設備周圍溫度的穩(wěn)定狀態(tài)。防止設備本身與加工品因溫度變化發(fā)生伸縮造成的加工精密誤差。
如：超精密非球面加工機、超精密單點精鋼石車床等。
2.精密測量·檢查 ：通過保證被測量物與精密測量儀器周圍溫度的穩(wěn)定性，到達提升測量精度的目的。
如：超精密三坐標測量儀等。
3. 曝光 保持電子束曝光設備內部溫度均勻，使執(zhí)行光源與目標物冷卻。防止光線的折射率發(fā)生改變，達到曝光品質優(yōu)良。
4.涂布 保持電子束曝光設備內部溫度均勻，使執(zhí)行光源與目標物冷卻。防止光線的折射率發(fā)生改變，達到曝光品質優(yōu)良。
5.電子束曝光 控制溫濕度保持穩(wěn)定，防止因為電子束的溫度不均勻，造成折射與遮罩基板的伸縮。以達到提升掃描品質的目的。
如：光刻機
6.基板印刷 印刷機周圍溫濕度保持穩(wěn)定，讓墨水的粘度與揮發(fā)量保持穩(wěn)定，以達到提升品質的目的。
如：絲網(wǎng)印刷機
備注：
#1：可控制的溫度因周邊環(huán)境的溫濕度（吸入空氣的溫濕度）發(fā)生變化；
#2：周邊環(huán)境條件為溫度變化梯度在1℃/h、濕度變化梯度在5%/h時，溫度可控制在±0.1℃；
可控制的溫濕度精度約為周邊環(huán)境溫度變化梯度的1/10℃。
#3：周邊環(huán)境條件為24℃ 50%、蒸發(fā)溫度為5℃時的能力。
溫度控制精度：
±0.1℃以內（0.01℃解析能力）
節(jié)能設計：
廢熱循環(huán)利用技術
ATC控制：
與加工區(qū)域有效地控制與保證
精美外觀設計：
富鋁型板噴塑，流線型外觀，經(jīng)典工業(yè)灰
設計，美觀大方，高雅得體
計量器具：
運行數(shù)據(jù)數(shù)字化管理
降噪設計：
低振動，低噪音
