日立 SU5000高新熱場(chǎng)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡
電子槍
ZrO/W 肖特基式場(chǎng)發(fā)射電子槍
加速電壓
~30kV
著陸電壓
~2kV
分辨率
@1kV 1)、@30kV、@15kV 低真空模式 2)
放大倍率
底片倍率:10~600000倍、顯示倍率:18~1000000倍
5軸馬達(dá)臺(tái)
X:0~100mm、Y:0~50mm、Z:3~65mm、T:-20~90°、R:360°
*1:減速模式是選配項(xiàng) *2:低真空模式是選配項(xiàng)