英國Cressington 自動(dòng)離子濺射儀108AUTO
主要特性
· 自動(dòng)的換氣與泄氣功能,可以得到一致的膜厚,和的導(dǎo)電噴鍍效果。
· 通過高效低壓直流磁控頭進(jìn)行冷態(tài)精細(xì)的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
· 操作容易快捷,可全自動(dòng)或手動(dòng)進(jìn)行噴鍍操作,控制的參數(shù)包括自動(dòng)放氣以及氬氣換氣控制。
· 在自動(dòng)模式下,可通過兩種方式進(jìn)行控制鍍膜過程。可通過數(shù)字顯示器控制得到可重現(xiàn)的噴鍍效果,
· 通過使用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)在達(dá)到設(shè)定膜厚時(shí)停止噴鍍過程。
· 可用MTM-20高分辨膜厚控制儀(選件)手動(dòng)停止噴鍍過程。
· 數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氬氣壓力影響,可得到一致的鍍膜速率和的鍍膜效果。
· 可使用多種金屬靶材:Au,Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標(biāo)配),靶材更換快速方便。