型號

VR-3200

類型

量測頭

適用控制器

VR-3000K

觀察量測範(fàn)圍

大視野模式

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 12x

水平(H)

24mm

垂直(V)

18mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 25x

水平(H)

12mm

垂直(V)

9mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 38x

水平(H)

8mm

垂直(V)

6mm

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 50x

水平(H)

垂直(V)

高倍率模式

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 40x

水平(H)

垂直(V)

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 80x

水平(H)

垂直(V)

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 120x

水平(H)

垂直(V)

15 型螢?zāi)簧巷@示倍率 160x

水平(H)

垂直(V)

鏡頭

1 至 4 倍

可量測高度

大視野模式：10mm(±5mm) 高倍率模式：1mm(±)*1

顯示解析度

µm*2

重覆精度 (σ)

高度量測

µm*3

寬度量測

大視野模式：1 µm、高倍率模式： µm*3

量測精度

高度量測

±3 ?µm*3

寬度量測

大視野模式：±5 µm、高倍率模式：±2 µm*3

影像連接功能

全自動(XY 自動控制+ 自動對焦)量測*4
自動調(diào)整、自動範(fàn)本分析*4

載物臺

XY 載物臺移動量

184 × 88 mm(電動)

Z 載物臺移動量

90 mm(電動)

旋轉(zhuǎn)角

±180°（試料旋轉(zhuǎn)載物臺）

傾斜角

±30° 以上

動作距離

75 mm

影像擷取元件

1 型400 萬畫素黑白CMOS

投光鏡頭

雙重遠(yuǎn)心鏡頭 ×2

受光鏡頭

雙重遠(yuǎn)心鏡頭

照明系統(tǒng)

觀察用光源

環(huán)形 LED 照明(紅、綠、藍(lán))

量測用光源

白光 LED

影像尺寸

1024×768 畫素、2048×1536 畫素

資料處理部份

KEYENCE 專用PC(OS 為 WINOOWs7)*5

額定

電源電壓

100 至 240 VAC ±10 %、50/60 Hz

耗電量

150 VA

環(huán)境抗耐性

環(huán)境溫度

+15 至 +30 °C

相對濕度

35 至 80 % RH (無凝結(jié))

重量

kg

*1 以焦點位置為中心，低倍率端 ±5 mm，高倍率端側(cè) ± mm 的範(fàn)圍?
*2 量測高度時的解析度
*3 使用 KEYENCE 規(guī)定的基準(zhǔn)規(guī)，以 KEYENCE 規(guī)定的量測模式進(jìn)行量測時的數(shù)值(環(huán)境溫度 23 ±1°C)
*4 需要影像連接模組(VR-H2J)
*5 WINOOWs7 Professional 以及 Ultimate