Hitachi S-3400N
一、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的特點(diǎn)
1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能，包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對比度等。
2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái)，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品zui高可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉可以同時(shí)安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈，高效。
二、日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的技術(shù)指標(biāo)
項(xiàng)目 | 描述 | |
SE分辨率 | (30kV)，高真空模式 | |
BSE分辨率 | (30kV)，低真空模式 | |
放大倍率 | x5 ~ x300,000 | |
加速電壓 | ~ 30 kV | |
低真空范圍 | 6 ~ 270 Pa | |
zui大樣品尺寸 | 直徑200mm | |
樣品臺(tái) | I型 | II型 |
X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 100mm |
Y | 0 ~ 40mm | 0 ~ 50mm |
Z | 5 ~ 35mm | 5 ~ 65mm |
R | 360o | 360o |
T | -20o~ +90o | -20o ~ +90o |
zui大樣品高度 | 35mm (WD=10mm) | 80mm (WD=10mm) |
驅(qū)動(dòng)類型 | 手動(dòng) | 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
燈絲 | 預(yù)對中鎢燈絲 | |
物鏡光欄 | 可移動(dòng)式4孔物鏡光欄 | |
槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏 | |
檢測器 | 二次電子檢測器 | |
分析位置 | WD=10mm, TOA=35o | |
控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤，手動(dòng)旋鈕 | |
自動(dòng)調(diào)校 | 自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦消像散、自動(dòng)亮度對比度 | |
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