產(chǎn)品介紹
ESPI電子散斑干涉儀，用來(lái)解決漫反射表面的形變測(cè)量問(wèn)題。PhaseCam ESPI動(dòng)態(tài)電子散斑干涉儀，可以解決在現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境下的表面沿軸向的一維形變測(cè)量問(wèn)題，精度達(dá)到nm級(jí)，而不用考慮環(huán)境振動(dòng)帶來(lái)的影響。 應(yīng)用于大口徑拼接鏡的背部支撐材料的微變形測(cè)量。經(jīng)典應(yīng)用案例：美國(guó)JWST太空望遠(yuǎn)鏡的主鏡的背部碳纖維支撐結(jié)構(gòu)的微變形測(cè)量。
PhaseCam ESPI是在P6110的基礎(chǔ)上開(kāi)發(fā)的，采用532nm高能激光光源，對(duì)樣品表面照射，表面的漫反射光進(jìn)入干涉儀發(fā)生干涉，干涉圖樣為含有干涉信息的電子散斑噪聲。對(duì)兩次漫反射干涉的散斑進(jìn)行波面相減操作，便可提取出樣品面形變化引起的相位信息。對(duì)該相位信息解析，就可以獲得形變量。由于采用了動(dòng)態(tài)相移技術(shù)，即使在非隔振的環(huán)境下測(cè)量，也可以實(shí)現(xiàn)nm級(jí)測(cè)量精度。
常規(guī)屬性
系統(tǒng)描述：對(duì)振動(dòng)不敏感的泰曼格林型動(dòng)態(tài)相移干涉儀
采集模式：采用相位相關(guān)探測(cè)器的瞬時(shí)相移式
激光器：532nm CW激光，18W
ESPI照明：雙通道獨(dú)立照明，光纖耦合
相干長(zhǎng)度 gt;35m
光束直徑：7 mm
相機(jī)像素：2000×2000 pixels
可測(cè)樣品材料：碳纖維、殷鋼、鋁等漫反射表面
系統(tǒng)性能
RMS重復(fù)性：
RMS精度：
測(cè)試距離：可測(cè)2m-5m
測(cè)試覆蓋范圍：Φ
配置選項(xiàng)
球面擴(kuò)束鏡頭：F/1 to F/32；
