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廣電計量檢測集團股份有限公司

日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC510

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱山東東南儀誠實驗室設備有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/7/18 9:54:56
  • 訪問次數272
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山東南儀誠實驗室設備有限公司位于美麗的泉城濟南,成立于2011年,公司是一家專業(yè)經營國產、進口實驗室設備、分析檢測儀器、環(huán)境監(jiān)測儀器、無損檢測、測繪儀器、藥檢儀器、生物醫(yī)學儀器、煤質石油檢測及安檢儀器等的有限責任公司。
■操作性功能●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型,發(fā)生器自動匹配,無需調節(jié)反射波,進一步增加的操作的便捷性
日本雅馬拓YAMATO等離子清洗機PDC510 產品信息
■操作性·功能 
●射頻13.56Mhz0-300W高功率機型,發(fā)生器自動匹配,無需調節(jié)反射波,進一步增加的操作的便捷性。 
●標準配備數字式皮拉尼傳感器,實時顯示真空度,使得控制更為精確。 
●平行平板腔體非常適合于實驗室處理比較純凈的晶圓、硅片等樣品,無需擔憂因為腔體材質的原因導致樣品受到污染。 
■安全性·保護 
●裝載有溫度、壓力、等離子發(fā)生器異常等三層報警燈,可實時監(jiān)測和了解機器的運轉狀態(tài)。 
●裝載有過電流漏電保護開關、自診斷回路、異常時蜂鳴器報警等安全功能。 
■產品優(yōu)勢 
●等離子清洗機清洗效果好,清洗效率高,功率大,應用范圍廣。 
●對清洗樣品,沒有任何材質、外觀尺寸等要求。 
●等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達到常溫處理。 
●高效的特制電極,是產生均勻等離子體的保證。 
●特制電極和托盤結構,可保證樣品可得到全面有效的清洗。
型號 PDC510
等離子模式 RIE/DP
電極構造 平行平板(固定)
高頻輸出 Max500W
頻率 13.56MHz
控制?顯示 液晶觸摸屏
反應室尺寸 W500 x D300 x H200mm
電極尺寸 W400 x D200mm
反應室材質
反應氣體 2系統(tǒng)(Ar、O2)
填充氣體 N2或干燥空氣
反應氣體流量控制 聚合控制器
真空泵 油泵(約500L/分)標配
氣體導入口 反應氣體2個、填充氣體1個
外形尺寸 W700 x D700 x H1285mm
重量 約 180kg
電源 三相AC200V8A
15168338725
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