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不管是微電機(jī),微型開(kāi)關(guān)或其他精細(xì)組件,用F25可以高測(cè)量微系統(tǒng)技術(shù)的每個(gè)工件。 |
坐標(biāo)測(cè)量機(jī)F25符合蔡司的質(zhì)量保證特別要求,在此特別尺度下,微系統(tǒng)技術(shù)生產(chǎn)的工件尺寸、形狀和位置。微系統(tǒng)技術(shù)組件將被用于汽車零部件和醫(yī)療儀器上,并在高控制和調(diào)節(jié)過(guò)程中起到?jīng)Q定性作用。此精細(xì)工件質(zhì)量監(jiān)控的決定了零部件使用時(shí)的可靠性。
重要特征
- 超精密運(yùn)動(dòng)學(xué)與高測(cè)量系統(tǒng)的組合分辨率為7.5nm,測(cè)量達(dá)到250nm
- 久經(jīng)考驗(yàn)的Calypso測(cè)量軟件
- 靈活地多功能傳感器:同一系統(tǒng)采用觸發(fā)式和光學(xué)測(cè)量
- 接觸式被動(dòng)掃描——傳感器基于硅芯片,并帶有集成的壓阻組件
- 光學(xué)影像傳感器ViSCAN使用蔡司顯微技術(shù)鏡頭,可用于二維測(cè)量
- 附加的相機(jī)支持探測(cè)時(shí)的可視化操作,并且便于示教編程
- 靈敏的三維微探針測(cè)桿直徑50至500μm及測(cè)針頭直徑100至