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環(huán)保APP正式上線(xiàn)

外延片等離子刻蝕機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng)廣東芳如達(dá)科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠(chǎng)商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2023/8/20 18:21:32
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù)215
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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廣東芳如達(dá)科技有限公司成立于2017年,致力于低溫等離子產(chǎn)品的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,是一家集技術(shù)研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售以及售后服務(wù)于一體的技術(shù)企業(yè),產(chǎn)品成功應(yīng)用于新能源、半導(dǎo)體集成電路及微電子產(chǎn)業(yè)、PCB線(xiàn)路板制造 、 生物醫(yī)療材料 、精密儀器、機(jī)械及電氣制造、 聚合物薄膜、紡織纖維改性 、汽車(chē)制造、橡膠塑料等產(chǎn)業(yè)。芳如達(dá)擁有15年專(zhuān)業(yè)研發(fā)、制造等離子體處理設(shè)備的經(jīng)驗(yàn),為更好服務(wù)客戶(hù),先后設(shè)立深圳、香港、長(zhǎng)沙、昆山、成都、石家莊等六大客戶(hù)服務(wù)中心,研發(fā)制造中心在東莞。芳如達(dá)擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)專(zhuān)家團(tuán)隊(duì),主要設(shè)計(jì)研發(fā)人員都擁有十年以上行業(yè)經(jīng)驗(yàn)?,F(xiàn)有團(tuán)隊(duì)成員50多人;其中碩士研究生3人,85%以上人員為大專(zhuān)以上學(xué)歷。公司秉承客戶(hù)至上、品質(zhì)至上、創(chuàng)新、速度的理念,不斷加強(qiáng)自主創(chuàng)新與發(fā)展。專(zhuān)注于等離子技術(shù)研發(fā)及應(yīng)用。同時(shí)為客戶(hù)提供高效、精準(zhǔn)的自動(dòng)化制造方案。芳如達(dá)一貫堅(jiān)持:“的產(chǎn)品;的服務(wù);的合作關(guān)系”的經(jīng)營(yíng)理念;“顧客滿(mǎn)意,共同發(fā)展”的經(jīng)營(yíng)目標(biāo);“至誠(chéng)至信,至新至美”的公司精神;“團(tuán)隊(duì)合作,以人為本”的核心價(jià)值。芳如達(dá)和南方科技大學(xué)成立了校企聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室,也同中國(guó)科技大學(xué)、天津大學(xué)、華中科大、航天空氣動(dòng)力研究院、中科院電子所、理化所、金屬所、中國(guó)強(qiáng)磁場(chǎng)中心等單位都有很好的合作關(guān)系。始終牢記為客戶(hù)創(chuàng)造更大價(jià)值而持續(xù)創(chuàng)新的使命和成為行業(yè)百年服務(wù)品牌的愿景,繼續(xù)為實(shí)現(xiàn)客戶(hù)更大的價(jià)值而努力。
等離子體表面處理儀
產(chǎn)品介紹對(duì)外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕,保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性
外延片等離子刻蝕機(jī) 產(chǎn)品信息
產(chǎn)品介紹

對(duì)外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕,保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。

產(chǎn)品參數(shù)

型  號(hào)

FRD-E30

等離子源系統(tǒng)

頻  率

13.56MHz  射頻

功  率

0~500W    可調(diào)

真空系統(tǒng)

真空腔體

材質(zhì)

石英、航空鋁(選配)

腔體內(nèi)部尺寸(MM)

400*200*400

腔體容積

30L

極板

1層

密封性

級(jí)焊接密封

真空泵

干泵

真空管路

不銹鋼管、不銹鋼波紋管

真空計(jì)

薄膜硅

氣體流量計(jì)

<±1% FS

氣路控制

2路處理氣體氣路,氣體流量可調(diào)

極限真空

3Pa

適用氣體

流量范圍

0-500SCCM(可調(diào))

工藝氣體

Ar、N?O?、H?等等(可選)

控制系統(tǒng)

1、PLC 自動(dòng)控制;

2、7寸觸摸屏,圖形用戶(hù)界面;

3、配方程序?yàn)?nbsp;0~99;

4、多級(jí)權(quán)限操作;

5、圖形化曲線(xiàn)圖自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)及錯(cuò)誤信息;

6、存儲(chǔ)工藝數(shù)據(jù)及錯(cuò)誤信息;

7、報(bào)警信息提示及追溯;

8、圖形化界面檢測(cè)處理參數(shù);

9、自動(dòng)、手動(dòng)操作可切換;

10、維護(hù)提示緊急停止按鈕;

11、門(mén)感應(yīng)器和真空互鎖;

12、機(jī)器運(yùn)行信號(hào)指示;

13、機(jī)器運(yùn)行結(jié)束提示;

外觀參數(shù)

外形尺寸(MM)

640*1700*840 (寬高深)

重  量

280KG

設(shè)施配置

電  力

五線(xiàn),三相制AC380V ,50-60Hz。所有配線(xiàn)符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線(xiàn)路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。

壓縮空氣

干燥壓縮空氣CDA。

其  它

提供操作手冊(cè)、維護(hù)手冊(cè)、安裝手冊(cè),易損件備件清單。


產(chǎn)品特點(diǎn)

1、小技巧、操作簡(jiǎn)單、易維護(hù)。

2、引進(jìn)德國(guó)核心等離子技術(shù),質(zhì)量有保障。
3、進(jìn)口針閥精密流量控制計(jì),精度高。

4、材質(zhì)耐腐蝕,環(huán)保不產(chǎn)生金屬污染。
5、多路工藝反應(yīng)氣體通道,保證產(chǎn)品清洗效果。

6、可以根據(jù)客戶(hù)需求定制。


產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

對(duì)外延片、晶圓、塑料、金屬材料等,進(jìn)行介質(zhì)刻蝕、硅刻蝕、金屬刻蝕,實(shí)現(xiàn)各項(xiàng)異性刻蝕,保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。


15700106413
產(chǎn)品對(duì)比
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