工作原理：
　　空氣中的主要成分是氮和氧，利用環(huán)境溫度下，空氣中氮?dú)夂脱鯕庠诜惺肿雍Y（ZMS）上的吸附性能不同（氧氣能通過(guò)而氮?dú)獗晃剑?，設(shè)計(jì)適當(dāng)?shù)墓に囘^(guò)程，而使氮和氧分離制得氧氣。氮?dú)庠诜惺雍Y上的吸附能力比氧氣強(qiáng)（氮與分子篩表面離子的作用力強(qiáng)），當(dāng)空氣在加壓狀態(tài)下通過(guò)裝有沸石分子篩吸附劑的吸附床時(shí)，氮?dú)獗环肿雍Y吸附，氧氣因吸附較少，在氣相中得到富集并流出吸附床，使氧氣和氮?dú)夥蛛x獲得氧氣。當(dāng)分子篩吸附氮?dú)庵两咏柡秃螅Ｖ雇諝獠⒔档臀酱驳膲毫?，分子篩吸附的氮?dú)獗憧梢越馕鰜?lái)，分子篩得到再生并可重復(fù)利用。兩個(gè)以上的吸附床輪流切換工作，便可連續(xù)生產(chǎn)出氧氣。
　　氧氣和氮?dú)獾姆悬c(diǎn)接近，兩者很難分離，一起在氣相中得到富集。因此變壓吸附制氧裝置通常只能獲得濃度為90～95%的氧氣（氧的極限濃度為95.6%，其余為氫氣）又稱(chēng)富氧。與深冷空分裝置相比，后者能制成99.5%以上濃度的氧氣。

裝置工藝：
變壓吸附空分制氧裝置的吸附床必須包含兩個(gè)操作步驟：吸附和解吸。為了連續(xù)獲得產(chǎn)品氣通常在制氧裝置中都裝置兩個(gè)以上的吸附床，并且從能耗和穩(wěn)定性的角度出發(fā)，另外設(shè)置一些必要的輔助步驟。每個(gè)吸附床一般都要經(jīng)歷吸附、放壓、抽空或減壓再生、沖洗置換和均壓升壓等步驟，周期性的重復(fù)操作。在同一時(shí)間內(nèi)，各個(gè)吸附床則分別處于不同的操作步驟，在PLC的控制下定時(shí)切換，使幾個(gè)吸附床協(xié)調(diào)才做，在時(shí)間步伐上則相互錯(cuò)開(kāi)，使變壓吸附裝置能夠平穩(wěn)運(yùn)行。連續(xù)獲得產(chǎn)品氣。對(duì)于實(shí)際的分離過(guò)程，還必須考慮空氣中其它微量組份。二氧化碳和水分在通常的吸附劑上的吸附能力一般要比氮和氧都大的多，可在吸附床內(nèi)填加合適的吸附劑（或利用制氧吸附劑自身）使其被吸附清楚。
　　制氧裝置所需的吸附塔數(shù)目取決于制氧規(guī)模、吸附劑性能和工藝設(shè)計(jì)思路，多塔操作時(shí)運(yùn)行平穩(wěn)性相對(duì)更好一些，但設(shè)備投資更高。目前趨勢(shì)是使用高效制氧盡量減少吸附塔數(shù)量并采用操作周期，以提高裝置的效率并盡可能節(jié)約投資。

技術(shù)特點(diǎn)：
●制氧規(guī)模10000m3/h以下，制氧電耗更低，投資更?。?br/>●土建工程量小，裝置安裝周期比深冷裝置短;
●裝置運(yùn)行和維護(hù)費(fèi)用低；
●裝置運(yùn)行自動(dòng)化程度高，開(kāi)停車(chē)方便快捷，操作人員??；
●裝置運(yùn)行穩(wěn)定性強(qiáng)，安全性高；
●操作簡(jiǎn)單，主要部件均選用國(guó)際廠家；
●采用制氧分子篩，性能*，使用壽命長(zhǎng)；
●操作彈性強(qiáng)（負(fù)荷性*，裝換速度快）。

技術(shù)指標(biāo)：
產(chǎn)品規(guī)模：100-10000Nm3/h
氧氣純度：≥90-94%，可根據(jù)用戶(hù)實(shí)際要求在30-95%范圍內(nèi)調(diào)整。
制氮電耗：氧純度為90%時(shí)，折合為純氧的電耗（有用功）為0.32-0.37kWh/Nm3。
氧氣壓力：≤20Kpa（可增壓）
年開(kāi)工率：≥95%

流程圖：