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MKS I系列IE500A質量流量控制器

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公司名稱深圳市科銳詩汀科技有限公司
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廠商性質其他
更新時間2023/10/16 12:47:42
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深圳市科銳詩汀科技有限公司，位于中國改革開放的前沿城市——深圳真空技術屬于實驗物理的基礎技術的一個分支,是隨著原子物理、電子工業(yè)等領域的發(fā)展而發(fā)展起來的。超高真空的獲得和測量由阿爾培特在1950年基本建立以后,真空技術已與表面物理有了密切的聯(lián)系。改革開放以來，我國真空技術的應用90%左右都是集中在傳統(tǒng)工業(yè)領域，如真空干燥、真空冶金、真空熱處理、真空吸附、真空鍍膜、真空浸漬干燥、真空蒸餾、濃縮以及真空排氣、真空包裝、制冷等行業(yè)。近年來，國外的真空技術應用已從傳統(tǒng)的工業(yè)領域轉向半導體、平板顯示(LCD,PDP,OLED)、太陽能光伏電池、化學工業(yè)、生物制藥等產業(yè)領域，真空系統(tǒng)已經出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面。正是在這樣的時代背景下，我公司致力于把*的真空技術、產品和設備引進中國，為我們的客戶創(chuàng)造更多的價值。多年來，我們專注于真空及鍍膜設備行業(yè)，積累了豐富的專業(yè)知識和行業(yè)經驗，誠信為廣大客戶提供優(yōu)質的服務, 在真空、光學、電子、半導體、平板顯示、LED、太陽能等相關領域，我們擁有了大量的優(yōu)質客戶和合作伙伴，為他們提供技術、設計、產品、信息、配件等的服務，與客戶深入交流，緊密合作，共贏發(fā)展。

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IIP66額定的多氣體，多范圍彈性體密封250-500slm質量流量控制器I系列IE500A質量流量控制器是采用IP66防護等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC，設計用于苛刻的工業(yè)環(huán)境，在這些環(huán)境中，必須具有耐液體和灰塵侵入的性能

MKS I系列IE500A質量流量控制器產品信息

IIP66額定的多氣體，多范圍彈性體密封250-500 slm質量流量控制器

I系列IE500A質量流量控制器是采用IP66防護等級的彈性體密封的多氣體/多量程MFC，設計用于苛刻的工業(yè)環(huán)境，在這些環(huán)境中，必須具有耐液體和灰塵侵入的性能。IE500A的滿量程范圍為250 slm至500 slm（相當于N2）。的控制閥設計可實現(xiàn)如此寬的流量范圍，該設計對設定點變化做出快速響應，同時保持封閉的電導率泄漏率遠低于其他高流量質量流量控制器。

· 流速從250到500 slm

· Viton，Buna，氯丁橡膠或EPDM的密封件和閥塞選件

· 模擬，RS485，Profibus™或DeviceNet™I / O

· 標準閉合電導泄漏率小于滿量程的1.0％

· 1-2秒建立時間

技術指標

滿量程流量范圍	250-500 slm（相當于N2）	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結
入口壓力	150磅/平方英寸	貯存溫度	-20°至65°C
正常工作壓力差	40至50 psid	外部泄漏完整性	<1 x 10 （scc / sec他）
爆破壓力	1500磅/平方英寸	封閉閥的泄漏完整性	在40 psia至vac時<1.0％滿量程（<500 mTorr）
控制范圍	滿量程的2％至100％	濕材料	316 SS，Elgiloy，430FR，PTFE（標準）
典型精度	滿量程的20％至100％時為設定值的±1％滿量程的5％至20％時為滿量程的±0.25％	密封材料	Viton®（VI級）或EPDM（VI級）
重復性	讀數的±0.5％	表面處理	平均Ra 16 µinch
解析度	讀數的0.1％	重量	12.7磅（5.8公斤）
零溫度系數	<滿量程的0.05％/°C	外殼等級	IP66
跨度溫度系數	<讀數的0.08％/°C	合規(guī)	CE認證
進氣壓力系數	<0.08％的讀數/ psi	電源要求	+15至+24 VDC @（<8瓦）
典型建立時間	在50 psi的10％滿量程下典型<3秒	流量輸入輸出信號	電壓：0至5 VDC 電流：4至20 mA
熱身時間	1小時	模擬量I / O連接器	電壓：15針“ D”型公頭電流：15針“ D”型公頭
工作溫度	10°至50°C	儲存濕度	0至95％相對濕度，無凝結

特征

快速建立時間

2至3秒的建立時間和低于設定值1％的設定點精度超過了其他典型的高流量MFC。精確控制保持在IE500A配置的滿量程流量范圍的2％。多氣體/多量程功能，以及針對精度，控制范圍和瞬態(tài)響應的嚴格性能規(guī)格，使用戶可以地減少高流量MFC零件編號的庫存。

多氣體/多量程功能

可通過MFC的嵌入式診斷界面訪問多氣體/多量程功能（以及其他自定義控件），而無需任何特殊的軟件或硬件即可操作。所有需要的工具都是標準的以太網電纜和支持JAVA的HTML瀏覽器。典型的高流量氣體的關鍵氣體參數已存儲在設備中。配置設備僅是從下拉菜單中選擇氣體并所需的滿量程流量范圍。診斷界面還允許用戶執(zhí)行常規(guī)設備運行狀況檢查，繪制流量響應并存儲操作數據以進行離線分析。