應(yīng)用特點(diǎn)
高精度光學(xué)材料的應(yīng)力雙折射測(cè)量
可通過(guò)自動(dòng)拼接測(cè)量大口徑光學(xué)窗口
測(cè)量速度快，空間分辨率高
可以測(cè)量浸沒(méi)于折射率液中的大尺寸樣品
定制案例
主機(jī)口徑：?115 mm
單口徑測(cè)量時(shí)間：10 sec
空間分辨率：0.08 mm
被測(cè)樣品尺寸：500 mm x 600 mm
子孔徑測(cè)量次數(shù)：7 x 7 （max.)
拼接測(cè)量時(shí)間：< 15 min
常規(guī)屬性
設(shè)備形式：光軸水平設(shè)計(jì)
光源：?jiǎn)蜭ED準(zhǔn)直光源，波長(zhǎng)625±10 nm
負(fù)荷：500 kg（包括樣品臺(tái)）
探測(cè)器像素：1200 x 1000 pixels
通光口徑：89 mm x 74 mm ，單次測(cè)量時(shí)間<10 sec 可自動(dòng)拼接測(cè)試
運(yùn)動(dòng)行程：水平方向：600 mm，垂直方向：500 mm
樣品尺寸：長(zhǎng)：600 mm；寬：500 mm；厚：200 mm
樣品形狀：表面平行且拋光, 直接透過(guò)率>50% @610...640nm
系統(tǒng)性能
雙折射測(cè)量范圍：0-100 nm
空腔基線穩(wěn)定性（值的標(biāo)準(zhǔn)差）：≤0.05 nm
重復(fù)性：CaF2標(biāo)樣重復(fù)12次測(cè)量值的標(biāo)準(zhǔn)差 ≤0.05 nm
