應(yīng)用十一、氦質(zhì)譜檢漏儀 CL 004 氦氣標準漏孔檢漏儀校準應(yīng)用
CL 004 標準校準漏孔外形為長方體，可以方便放置在任意平面上，其功能用于校準或檢測氦質(zhì)譜檢漏儀吸槍模式。
外形圖如下圖：
氦質(zhì)譜檢漏儀尺寸如下圖：尺寸單位 mm（英寸）
Pfeiffer CL 004 校準漏孔根據(jù)漏率值范圍不同分為三種規(guī)格：
訂貨號 漏率范圍
BG447704-T approx 10-4 mbar l/s
BG447705-T approx 10-5 mbar l/s
BG447706-T approx 10-6 mbar l/s
讀數(shù)精度：+/-10 %
用戶可以根據(jù)不同需求確定使用范圍，但是具體的數(shù)值還要根據(jù)校準漏孔本身的讀數(shù)為準。
3. 校準漏孔操作說明
標準校準漏孔是持續(xù)泄露的，既氦氣從標準泄漏點持續(xù)流出。
應(yīng)用條件
環(huán)境溫度 +5 ... +35 °
吸槍校準
將氦質(zhì)譜檢漏儀 吸槍對準校準泄漏點，緊靠在泄漏點上，大約 10 s 數(shù)值會穩(wěn)定。
在使用氦氣標準漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀進行校準時,氦質(zhì)譜檢漏儀內(nèi)部校準值要設(shè)定和標準漏孔的實際漏率值一樣，然后按照校準程式進行校準，最后將校準后的結(jié)果保存，校準完畢；另外還可以在檢漏儀吸槍模式工作狀態(tài)時將吸槍靠近校準漏孔泄漏點，比較一下氦質(zhì)譜檢漏儀上的測量值和標準漏孔的實際值的差異，然后在進行校準，再比較。
3. 氦氣標準漏孔應(yīng)用
氦質(zhì)譜檢漏儀 吸槍模式（Sniffer mode）使用時，數(shù)值會產(chǎn)生誤差，使用標準氦氣漏孔對氦質(zhì)譜檢漏儀 進行校準，在實際應(yīng)用中非常必要，Pfeiffer CL 004 氦氣標準漏孔提供一個工業(yè)標準漏率值，氦質(zhì)譜檢漏儀對應(yīng)此標準漏率值進行校準，可以提高氦質(zhì)譜檢漏儀的精確度，達到一個更好的測試效果。
4. 工業(yè)標準
This is to certify that the leakage rate given in our quality inspection certificate has been established by equipment which are regularly checked (in the course of our control of measurement equipment according to ISO9001) with PTB*-calibrated standard leaks. In this way our measurements of leakage rates are traceable to national standards as required by ISO9000.
*PTB = Physikalisch-Technische Bundesanstalt Berlin
伯東公司成立于1953 年，范圍內(nèi)有一千七百名員工。伯東企業(yè)(上海)有限公司()主要從事半導體設(shè)備、電子零部件加工、銷售及相關(guān)服務(wù)工作，集團年營業(yè)額約為100億人民幣。伯東公司在國內(nèi)主要城市：北京、蘇州、廣州、深圳、成都及廈門設(shè)有營業(yè)據(jù)點。上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部秉承為廣大中國客戶提供的真空產(chǎn)品、推動中國真空工藝發(fā)展、承擔企業(yè)社會責任為經(jīng)營理念，已累計為超過10,000家企業(yè)提供真空服務(wù)，覆蓋工業(yè)、半導體、鍍膜、科研和分析行業(yè)。上海伯東代理品牌包含：德國Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品、美國 KRI 離子源、美國Brooks Polycold 制冷機，美國HVA 真空閥門，美國 inTEST(Temptronic)高速溫度循環(huán)測試機，離子蝕刻機，真空鍍膜系統(tǒng)及配套真空零配件等。上海伯東作為國際真空品牌代理商，全權(quán)負責在中國地區(qū)的銷售和維修服務(wù)，99% 使用原廠進口零部件以及國外受訓維修工程師；擁有的拆解，維修，校正能力并提供24小時在線服務(wù)。
氦質(zhì)譜檢漏儀 CL 004 氦氣標準漏孔檢漏儀校準應(yīng)用 產(chǎn)品信息
