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通用磁控濺射鍍膜機

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公司名稱北京中科科美科技股份有限公司
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廠商性質其他
更新時間2023/12/22 12:22:18
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公司介紹主營產品

北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業(yè)北京中科科儀股份有限公司的控股子公司，是專門從事真空系統(tǒng)集成產品設計、制造、銷售和服務的國家，為客戶提供真空系統(tǒng)整體解決方案和一站式服務，包括真空集成系統(tǒng)的總體設計、工程實施、設備安裝、技術服務等。公司主營業(yè)務分為空間環(huán)境模擬裝置、充氣回收檢漏系統(tǒng)、新能源真空應用系統(tǒng)和大科學工程真空配套四大類別。公司的客戶行業(yè)涉及航空航天、新能源（太陽能和核能）、新興裝備制造、科研院所、大科學工程、工業(yè)鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導、電氣檢測等多個領域。公司擁有*的裝備制造實力，通過了ISO質量管理體系和中核供應商體系認證，擁有3項發(fā)明及三十余項實用新型，曾參與：神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門中微子探測等國家大科學工程項目的實施，在真空領域具有國內的技術實力。中科科美致力于發(fā)展成為國內、具有國際競爭力的真空系統(tǒng)集成整體解決方案供應商，實現與客戶的共同成長！

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產品簡介在線詢價

磁控濺射鍍膜機是應用泛的PVD沉積設備，可用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系?？慑兏鞣N硬質膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質復合膜和其他化學反應膜，亦可鍍鐵磁材料。該設備主要用于實驗室制備光學膜層，電學，光電膜層及其它功能膜層，以及制備用于生長納米材料的催化劑薄膜層。該設備廣泛應用于大專院校及相關科研機構。

通用磁控濺射鍍膜機產品信息

　　一、應用領域

　　二、性能參數：

　　1. 極限真空壓力:5×10^-5Pa;

　　2. 磁控靶：直徑Φ50-Φ150;數量：2-4只;

　　3. 靶單位面積功率:(W/cm2)5～20;

　　4. 靶電源功率(W):DC500-5000W，RF500-1000W;

　　5. 基片加熱溫度:0～500℃可控;

　　6. 恢復真空抽氣時間(分):從大氣至5×10^-4Pa<30min;

　　7. 工藝氣體：MFC 1-4路;

　　8. 樣品架：公轉或公自轉;

　　9. 其它配置：偏壓、膜厚儀、薄膜規(guī)、磁控靶電(氣)動擋板可選;