Agilent安捷倫VacIon Plus 150 L/s 大型離子泵體積適中，可提供較高抽速，可用 6 英寸 Conflat 法蘭安裝，通常用于需要達(dá)到超高等真空條件的實(shí)驗(yàn)室。

該離子泵具有三種抽氣單元類型。二極離子泵抽氣單元適用于通用的超高真空等真空應(yīng)用，在這些應(yīng)用中對氫氣的抽速至關(guān)重要，并且系統(tǒng)很少排氣或發(fā)生空氣泄漏。三極離子泵抽氣單元可處理大量惰性氣體（優(yōu)于惰性氣體二極離子泵）和氫氣，對甲烷、氬氣和氦氣具有很高的抽速和容量。惰性氣體二極離子泵抽氣單元適用于需要抽除殘留氬氣和其他惰性氣體的通用應(yīng)用。

產(chǎn)品參數(shù)

產(chǎn)品特點(diǎn)

·配備三極離子泵、二極離子泵和惰性氣體二極離子泵抽氣單元，為不同氣體提供抽速。

·配備 ConFlat 6 英寸非旋轉(zhuǎn)型法蘭、額外 6 英寸 ConFlat 孔、雙法蘭和側(cè)孔，可選不同方向的真空穿導(dǎo)件（Fischer、King、DESY、Varian、Safeconn）。

·無活動(dòng)部件，確保在高靈敏度應(yīng)用中無振動(dòng)運(yùn)行。

·低漏電流可提供穩(wěn)定的真空壓力讀數(shù)。

·低磁場可大大減少系統(tǒng)干擾。

·在 > 400 °C 的條件下進(jìn)行真空處理，并在真空下夾止，確保安裝前的清潔度和真空密封性。

·可定制不同的高壓真空穿導(dǎo)件、泵體幾何形狀、額外孔和抽氣單元布局，還可配備光學(xué)擋板、外部加熱器和屏蔽磁體，滿足您的需求。

·SEM 版本具有低漏電流和高穩(wěn)定性，可將電子干擾降低。

·在空間有限的情況下可提供緊湊設(shè)計(jì)的泵體。

產(chǎn)品尺寸

產(chǎn)品選型