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全自動(dòng)工業(yè) WLI-AFM 系統(tǒng)|Park NX Hybrid WLI|無(wú)錫東立

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公司名稱上海百賀儀器科技有限公司
品牌
型號(hào)|Park NX H
所在地
廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
更新時(shí)間2024/2/10 17:29:39
訪問次數(shù)135

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海百賀儀器科技有限公司由上海佰衡儀器科技有限公司組建而來(lái)。多年來(lái)佰衡儀器精心研發(fā)制造各種試驗(yàn)機(jī)、試驗(yàn)箱及非標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備，服務(wù)于全國(guó)各大企業(yè)院所，是一家技術(shù)型的生產(chǎn)廠家。為了更好服務(wù)客戶，滿足用戶一站式的采購(gòu)需求，上海百賀儀器順勢(shì)而生，并與國(guó)內(nèi)外多家優(yōu)秀儀器供應(yīng)商*保持良好穩(wěn)定的合作關(guān)系，能夠在產(chǎn)品價(jià)格、技術(shù)服務(wù)、儀器維修、配件供給、軟件升級(jí)等方面得到更多的支持，讓客戶獲取更多的增值服務(wù)。
上海百賀儀器科技有限公司秉承‘佰衡儀器’的經(jīng)營(yíng)理念，一直致力于提升中國(guó)實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)水平，作為專業(yè)化的儀器公司，我們能為您提供更全面、更優(yōu)質(zhì)、更專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室解決方案。百賀儀器的產(chǎn)品及服務(wù)涉及金屬、橡膠、塑料、石油、建筑材料、汽車、電子、電工、家電、醫(yī)療、包裝印刷等諸多領(lǐng)域，享譽(yù)八方。

百賀儀器堅(jiān)持“客戶*，服務(wù)*”的服務(wù)理念，崇尚“誠(chéng)信、奉獻(xiàn)、共贏”的企業(yè)價(jià)值觀，勵(lì)精圖治，開拓進(jìn)取。公司由一支充滿活力的高素質(zhì)開拓型團(tuán)隊(duì)組成，技術(shù)過(guò)硬，經(jīng)驗(yàn)豐富，可以滿足不同客戶的需求，為客戶提供周到、熱情、滿意的服務(wù)。不論是售前還是售后服務(wù)，百賀儀器都力求嚴(yán)謹(jǐn)、及時(shí)、全面；換位思考，仔細(xì)傾聽，做客戶忠實(shí)的顧問式伙伴。

百賀儀器的承諾：*的品質(zhì)，專業(yè)的服務(wù)。

百賀儀器的目標(biāo)：您Z貼心的實(shí)驗(yàn)儀器供應(yīng)商。

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顯微鏡，拉力試驗(yàn)機(jī)，硬度計(jì)，高低溫試驗(yàn)箱，磨拋機(jī)，切割機(jī)，玻璃紙

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Park NX Hybrid WLI是一款具有內(nèi)置WLI輪廓儀的AFM，用于半導(dǎo)體和相關(guān)制造質(zhì)量保證。例如半導(dǎo)體前端、后端到高級(jí)封裝的過(guò)程控制，以及研發(fā)計(jì)量。它適用于那些需要在大面積上進(jìn)行高吞吐量測(cè)量的設(shè)備，這些設(shè)備可以縮小到具有亞納米分辨率和超高精度的納米級(jí)區(qū)域。

全自動(dòng)工業(yè) WLI-AFM 系統(tǒng)|Park NX Hybrid WLI|無(wú)錫東立產(chǎn)品信息

半導(dǎo)體計(jì)量的兩種互補(bǔ)技術(shù)。
WLI: 白光干涉測(cè)量是一種光學(xué)技術(shù)，它可以對(duì)非常寬的區(qū)域進(jìn)行成像，速度非?？欤瑵M足高吞吐量測(cè)量。
AFM: 原子力顯微鏡是一種掃描探針技術(shù)，即使對(duì)透明材料也能提供確的納米級(jí)分辨率測(cè)量。

WLI和AFM在視野,分辨率和速度方面結(jié)合。

WLI應(yīng)用需要比WLI 能力更高的分辨率和精度
的化學(xué)機(jī)械拋光計(jì)量和監(jiān)測(cè)
封裝
全掩模的熱點(diǎn)和缺陷檢測(cè)
晶圓級(jí)計(jì)量

AFM應(yīng)用需要更大的區(qū)域和更高的吞吐量
In-line 晶圓計(jì)量
長(zhǎng)行程CMP輪廓表征
亞埃級(jí)表面粗糙度控制
晶圓檢驗(yàn)與分析

NX-Hybrid WLI 功能
Park WLI系統(tǒng)
Park WLI支持WLI和PSI模式（PSI模式由電動(dòng)過(guò)濾器變換器支持）
可用物鏡放大倍數(shù)：2.5X 、10X、20X、50X、100X
兩個(gè)物鏡可由電動(dòng)線性換鏡器自動(dòng)更換

WLI光學(xué)干涉測(cè)量
掃描 Mirau 物鏡高度時(shí)，由干涉引起的光強(qiáng)變化可以計(jì)算每個(gè)像素處的樣品表面高度
白光干涉測(cè)量 (WLI) 和相移干涉測(cè)量 (PSI) 是兩種常用的表面表征技術(shù)

NX-Hybrid WLI 應(yīng)用
熱點(diǎn)檢測(cè)和審查
熱點(diǎn)快速調(diào)查和熱點(diǎn)缺陷自動(dòng)審查
可以通過(guò)比較參考和目標(biāo)樣品區(qū)域的圖像來(lái)檢測(cè)圖案結(jié)構(gòu)的熱點(diǎn)
WLI 的高速“熱點(diǎn)檢測(cè)”可以快速定位缺陷位置，以進(jìn)行高分辨率 AFM 審查

關(guān)鍵詞：顯微鏡