美國Semisonsoft膜厚測量儀

MProbe - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY

美國Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測厚儀測量厚度可以低至1nm，厚至1.8mm，埃級分辨率，非接觸式無損快速測量。廣泛應(yīng)用在各種生產(chǎn)或研究中，比如測量薄膜太陽能電池的CIGS層，觸摸屏中的ITO層等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測量。

測量原理：當(dāng)波長范圍的光照射到薄膜上時，從不同界面上反射的光相位不同，從而引起干涉導(dǎo)致強度相長或相消。而這種強度的振蕩是與薄膜的結(jié)構(gòu)相關(guān)的。通過對這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關(guān)的光學(xué)常數(shù)。

比如：

半導(dǎo)體（硅，硅，多晶硅）

半導(dǎo)體化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）

微電子機械（MEMS）

氧化物/氮化物

光刻膠

硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）

聚合物涂層（聚對二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）

高分子聚合物

MProbe膜厚測量儀操作簡單，只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚測量設(shè)備可支持不同光譜范圍，光譜范圍可達200-1700nm，因此可測量厚度范圍可從1nm到2mm。 設(shè)備中無移動組件，所以測量結(jié)果幾乎是即時得到的；TFCompanion測量軟件使得測量過程非常簡單且透明，測量歷史、動態(tài)測量、模擬、顏色分析、直接在樣品圖像上顯示結(jié)果。

分類：

1、單點膜厚測量——MPROBE-20
2、單點手持膜厚測量——MPROBE HC
3、聚焦光斑膜厚測量儀——MPROBE 40
4、原位測量膜厚測量儀——MPROBE 50 INSITU
5、支持Mapping的聚焦膜厚測量儀——MPROBE 60
6、在線膜厚測量儀——MProbe 70