美國Semisonsoft膜厚測(cè)量?jī)x
MProbe - MAKING THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT EASY
美國Semisonsoft公司MProbe系列薄膜測(cè)厚儀測(cè)量厚度可以低至1nm，厚至1.8mm，埃級(jí)分辨率，非接觸式無損快速測(cè)量。廣泛應(yīng)用在各種生產(chǎn)或研究中，比如測(cè)量薄膜太陽能電池的CIGS層，觸摸屏中的ITO層等。大部分透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩(wěn)定的被測(cè)量。
測(cè)量原理：當(dāng)波長(zhǎng)范圍的光照射到薄膜上時(shí)，從不同界面上反射的光相位不同，從而引起干涉導(dǎo)致強(qiáng)度相長(zhǎng)或相消。而這種強(qiáng)度的振蕩是與薄膜的結(jié)構(gòu)相關(guān)的。通過對(duì)這種振蕩擬合和傅里葉變換就可獲得樣品厚度和相關(guān)的光學(xué)常數(shù)。
比如：
半導(dǎo)體（硅，硅，多晶硅）
半導(dǎo)體化合物（AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS）
微電子機(jī)械（MEMS）
氧化物/氮化物
光刻膠
硬涂層（碳化硅，類金剛石炭）
聚合物涂層（聚對(duì)二甲苯，聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺）
高分子聚合物
MProbe膜厚測(cè)量?jī)x操作簡(jiǎn)單，只需一鍵操作即可獲得樣品的厚度、折射率（n, k）和表面粗糙度等信息，膜厚測(cè)量設(shè)備可支持不同光譜范圍，光譜范圍可達(dá)200-1700nm，因此可測(cè)量厚度范圍可從1nm到2mm。 設(shè)備中無移動(dòng)組件，所以測(cè)量結(jié)果幾乎是即時(shí)得到的；TFCompanion測(cè)量軟件使得測(cè)量過程非常簡(jiǎn)單且透明，測(cè)量歷史、動(dòng)態(tài)測(cè)量、模擬、顏色分析、直接在樣品圖像上顯示結(jié)果。
分類：
| 1、單點(diǎn)膜厚測(cè)量——MPROBE-20 |  |
| 2、單點(diǎn)手持膜厚測(cè)量——MPROBE HC |  |
| 3、聚焦光斑膜厚測(cè)量?jī)x——MPROBE 40 |  |
| 4、原位測(cè)量膜厚測(cè)量?jī)x——MPROBE 50 INSITU |  |
5、支持Mapping的聚焦膜厚測(cè)量?jī)x——MPROBE 60 |  |
| 6、在線膜厚測(cè)量?jī)x——MProbe 70 |  |
