日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000具有精確性高、穩(wěn)定性和重復性，可測量FPD、晶片、磁盤，和與納米材料相關物件的表面特性、臺階高度和粗糙度等。堅固的花崗巖材料鑄成的機身框架以及支撐部件顯著提高了儀器的重復精度，并降低了地板噪音對測量的干擾。ET4000為滿足用戶不加τ梅較虻男枰峁┝碩嘀摯裳∨渲?，?uuml;∨淙上窀郊鬃盎箍梢約蟮乩┏湟瞧韉墓δ堋Ⅻbr />
日本KOSAKA探針式輪廓儀T4000主要特點
1. 具有良的臺階高度重復性5Å (1σ)和線性度（垂直線性度：200nm以上為±0.25%；200nm以下為0.5nm）；
2. 高分辨率，縱軸分辨率為0.1nm，橫軸為0.01μm，可精確測量納米級至幾百微米級臺階高度；
3. 高直線度： 0.005μm/5mm，可測定微細表面形狀、段差、平面度、粗度、應力分析等；
4. 低測定力：采用直動力LVDT檢出器，觸針力在0.5μN～500μN范圍可以任意調(diào)節(jié)，可測定軟質(zhì)材料；
日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000產(chǎn)品參數(shù)
| 型號 | ET4000M | ET4000A | ET4000L | |
| 樣品尺寸 | 300x300mm | 210x210mm | 300x400mm | |
| 樣品臺 | 尺寸 | 320x320mm | 220x220mm | 540x400mm |
| X軸傾斜度 | ±1mm/150mm(機動傾斜） | |||
| Y軸傾斜度 | —— | ±1mm/150mm(機動傾斜） | ||
| 承重 | 2Kg | |||
| 檢出器 | 力 | 0.5μN-500μN（0.05mgf-50mgf）可調(diào)節(jié) | ||
| 范圍 | 100μm | |||
| 驅(qū)動 | LVDT直動式（差動變壓器） | |||
| 觸針 | ET-1479(R2μm) | ET-1479(R2μm),ET-1480(R0.5μm) | ||
| X軸 | 測長 | 100mm | ||
| 直線度 | 0.005μm/5mm(0.1μm/100mm) | |||
| 速度 | 0.005-2mm/s(定位速度10mm/s） | |||
| 重復性 | ±5μm（定位） | |||
| Y軸 | 測長 | —— | 150mm | 400mm |
| 直線度 | —— | 5μm/150mm | ||
| 重復性 | —— | ±5μm（定位） | ||
| Z軸 | 測長 | 52mm | ||
| 放大倍數(shù) | 垂直 | 50-2000000 | ||
| 水平 | 1-10000 | |||
| 3D | —— | 可選擇 | ||
| θ軸 | —— | 可選擇 | ||
| 輔助功能 | 教學、機動傾斜、傾斜度分析、檢出器自動停止功能等 | |||
| 監(jiān)控系統(tǒng) | 攝像裝置 | 1/2 inch CCD (768x494像素） | ||
| 監(jiān)視裝置 | 視頻捕捉板 | |||
| 應用 | 成像、臺階、粗糙度、波紋度和傾斜度 | |||
| 重復性 | 1σ0.5nm | |||
| 電源 | AC100V 800VA | |||
| 外觀尺寸 | W660xD580xH660mm 200Kg | W930xD930xH790mm 380Kg | ||
日本KOSOKAE探針式輪廓儀T4000應用
