東京精密C2700DX輪廓形狀測量機(jī)特點(diǎn)
- 采用線性馬達(dá)，精度大幅度提高
- 實(shí)現(xiàn)了測量速度以及低振動(dòng)性，能夠進(jìn)行穩(wěn)定的高倍率測量。
- 高速測量，顯著提高生產(chǎn)力
東京精密C2700DX輪廓形狀測量機(jī)技術(shù)參數(shù)
| 型號 | SURFCOM 2700DX3/SD3 | |||||||||
| -12 | -13 | -14 | -15 | -22 | -23 | -24 | 25 | |||
| 測量范圍 | Z軸(縱方向) | 50mm | ||||||||
| X軸(橫方向) | 100mm | 200mm | ||||||||
| 精度 | Z軸指示精度（縱方向） | ±（0.8+│2H│/100）μm?。℉：測量高度 mm） | ||||||||
| 測定分辨率 | 只有0.025μm/全套 | |||||||||
| X軸指示精度(橫方向) | ±（1.0+1L/100）μm （L：測量長度 mm） | |||||||||
| 測定分辨率 | 0.016μm | |||||||||
| 直線度精度 | 1μm/100mm | 2μm/200mm | ||||||||
| 測量方式 | X軸(橫方向) | 線性馬達(dá) | ||||||||
| Z軸(縱方向) | 規(guī)模激光衍射 | |||||||||
| 速度 | 立柱上下移動(dòng)速度（Z軸） | 3-10mm/s | ||||||||
| 速度（X軸） | 測量速度: 0.03-20mm/s; 移動(dòng)速度: 60mm/s | |||||||||
| 檢出器 | 測針, 測力 | 交換式 30mN以下 、與收縮功能 | ||||||||
| 測針半徑(測針材質(zhì)) | 25μmR（24°超硬合金） 標(biāo)準(zhǔn)配件 | |||||||||
| 測定方向,姿勢 | 前?后方向 、上?下 方向 、跟蹤角：77° | |||||||||
| 測量范圍 | 驅(qū)動(dòng)部 | 100mm | 200mm | |||||||
| 上下 | 226mm | 426mm | 626mm | 226mm | 426mm | 626mm | ||||
| 操作臺 | 大小 | 600*320mm | 1000*450mm | 600*320mm | 1000*450mm | |||||
| 允許裝載質(zhì)量 | 37kg | 28kg | 93kg | 84kg | 31kg | 22kg | 87kg | 78kg | ||
| 要素 | 尺寸 | 長 | 1250mm | 1650mm | 1250mm | 1650mm | ||||
| 寬 | 800mm | 900mm | 800mm | 900mm | ||||||
| 高 | 1480mm | 1680mm | 1880mm | 1480mm | 1680mm | 1880mm | ||||
| 重量 | 225kg | 235kg | 420kg | 430kg | 230kg | 240kg | 425kg | 435kg | ||
| i壓 | 單相 | |||||||||
