用于缺陷分析和大型樣品研究的納米計(jì)量工具
作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器，其主要目的是對樣品進(jìn)行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許任何錯(cuò)誤的存在。Park NX20，這款精密的大型樣品原子力顯微鏡，憑借著出色的數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性，在半導(dǎo)體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚(yáng)。
概述
大全面的分析功能
Park NX20具備無二的功能，可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因，并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。的精密度為您帶來高分辨率數(shù)據(jù)，讓您能夠更加專注于工作。與此同時(shí)，真正非接觸掃描模式讓探針更鋒利、更耐用，無需為頻繁更換探針而耗費(fèi)大量的時(shí)間和金錢。。
即便是次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作
ParkNX20擁有業(yè)界便捷的設(shè)計(jì)和自動(dòng)界面，讓你在使用時(shí)無需花費(fèi)大量的時(shí)間和精力，也不用為此而時(shí)時(shí)不停的指導(dǎo)初學(xué)者。借助這一系列特點(diǎn)，您可以更加專注于解決更為重大的問題，并為客戶提供及時(shí)且富有洞察力的失效分析報(bào)告。
技術(shù)特點(diǎn)
為FA和研究實(shí)驗(yàn)室提供精確的形貌測量解決方案
樣品側(cè)壁三維結(jié)構(gòu)測量
NX20的創(chuàng)新架構(gòu)讓您可以檢測樣品的側(cè)壁和表面，并測量它們的角度。眾多的功能和用途正是您的創(chuàng)新性研究和敏銳洞察力所的。
對樣品和基片進(jìn)行表面光潔度測量
表面光潔度測量是Park NX20的關(guān)鍵應(yīng)用之一，能夠帶來精確的失效分析和質(zhì)量保證。
高分辨率電子掃描模式
QuickStep SCM
的掃描式電容顯微鏡
PinPoint AFM
無摩擦導(dǎo)電原子力顯微鏡
多種的技術(shù)幫助顧客減少測試時(shí)間
CrN樣品所做的針尖磨損實(shí)驗(yàn)
AFM測量
低噪聲Z探測器測量準(zhǔn)確的樣品表面形貌
沒有壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌
超低噪聲Z探測器，噪音水平低于0.02 nm,從而達(dá)到非常精準(zhǔn)樣品形貌成像，沒有邊沿過沖無需校準(zhǔn)。Park NX20在為您提供好的數(shù)據(jù)的同時(shí)也為您節(jié)省了寶貴的時(shí)間。
- 使用低噪聲Z探測器信號進(jìn)行臺階形貌測量。
- 在大范圍掃描過程中系統(tǒng)Z向噪音小于0.02 nm。
- 沒有前沿或后沿過沖現(xiàn)象
- 終身無需校準(zhǔn)，減少設(shè)備維護(hù)成本
Park NX系列原子力顯微鏡
傳統(tǒng)的原子力顯微鏡
Park NX20特點(diǎn)
低噪聲XYZ位置傳感器
行業(yè)的低噪聲Z軸探測器代替Z電壓作為形貌信號。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。
自動(dòng)多點(diǎn)掃描
借助驅(qū)動(dòng)樣品臺，步進(jìn)掃描可編程步進(jìn)掃描,多區(qū)域成像，以下是它的工作流程：- 掃描成像
- 抬起懸臂
- 移動(dòng)驅(qū)動(dòng)平臺到設(shè)定位置
- 進(jìn)針
- 重復(fù)掃描
該自動(dòng)化功能可大大減少掃描過程中人工移動(dòng)樣品所需時(shí)間，從而縮短測試時(shí)間，提高生產(chǎn)率。
滑動(dòng)嵌入SLD鏡頭的自主固定方式
您只需滑動(dòng)嵌入燕尾導(dǎo)軌便可輕松更換原子力顯微鏡鏡頭。該設(shè)計(jì)可將鏡頭自動(dòng)鎖定至預(yù)對準(zhǔn)的位置，同時(shí)與復(fù)位精度為幾微米的電路系統(tǒng)相連接。借助于相關(guān)性低的SLD，顯微鏡可精確成像并可準(zhǔn)確測定力-距離曲線。
高級掃描探針顯微鏡模式和選項(xiàng)的擴(kuò)展槽
只需將可選模塊插入擴(kuò)展槽便可激活高級掃描探針顯微鏡模式。得益于NX系列原子力顯微鏡的模塊設(shè)計(jì)，其生產(chǎn)線設(shè)備兼容性得到大大提高
高速24位數(shù)字控制器
所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器進(jìn)行控制和處理。 該控制器是個(gè)全數(shù)字，24位高速控制器，可確保True Non-Contact™模式下的成像精度和速度。憑借著低噪聲設(shè)計(jì)和高速處理單元，該控制器也是納米成像和精確電壓電流測量的選擇。嵌入式數(shù)字信號處理為原子力顯微鏡帶來更為豐富的功能，更好的解決方案，是高級研究員的。
XY和Z軸檢測器的24位信號分辨率
- XY軸（50 μm）的分辨率為0.003nm
- Z軸（15 μm ）的分辨率為0.001 μm
嵌入式數(shù)字信號處理功能
- 三通道數(shù)碼鎖相放大器
- 彈簧系數(shù)校準(zhǔn)（熱方法）
- 數(shù)據(jù)Q控制
集成式信號端口
- 專用可編程信號輸入/輸出端口
- 7個(gè)輸入端口和3個(gè)輸出端口
高速Z軸掃描器，掃描范圍達(dá)15 µm
借助高強(qiáng)度壓電疊堆和撓性設(shè)計(jì)，標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻率高達(dá)9kHz(一般為10.5kHz）且探針的Z軸速率不低于48mm/秒。 Z軸掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15 µm擴(kuò)展至30 µm（可另選Z掃描頭）。
集成編碼器的XY自動(dòng)樣品載臺
編碼器可用于所有自動(dòng)樣品載臺，并可保證更高的重復(fù)定位精度，從而可更精確地控制樣品測量位置。XY馬達(dá)運(yùn)動(dòng)工作時(shí)分辨率為1 µm，重復(fù)率為2 µm。Z馬達(dá)運(yùn)動(dòng)的分辨率為0.1 µm，重復(fù)率為1 µm。
操作方便的樣品臺
借助的鏡頭設(shè)計(jì)，用戶可從側(cè)面操作控樣品和探針。根據(jù)XY軸樣品臺所設(shè)定的行程范圍，用戶在樣品臺上可放置的樣品體積為直徑200 mm。
結(jié)合了集成LED照明的同軸高倍顯微鏡
超長工作距離的定制物鏡（工作距離50mm, 數(shù)值孔徑0.21，分辨率1.0 μm ）帶來的鏡頭清晰度。直視同軸設(shè)計(jì)使得用戶可輕易在樣品表面尋找目標(biāo)區(qū)域。EL20x的長行程物鏡的大尺寸CCD可為您在高視角前提下提供0.7 μm的高分辨率。
自動(dòng)Z軸移動(dòng)和聚焦系統(tǒng)
高度限行Z軸移動(dòng)和聚焦系統(tǒng)，可以得到清晰的視野和圖像，用戶通過軟件界面進(jìn)行操作，由高精度步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，即使液體或者透明樣品也可快速找到樣品表面。
