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廣電計(jì)量檢測(cè)集團(tuán)股份有限公司

臺(tái)式勻膠機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱深圳市邦企創(chuàng)源科技有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/3/15 14:45:45
  • 訪問次數(shù)423
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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深圳市邦企創(chuàng)源科技 擁有10年智能真空熱壓機(jī)和液壓機(jī)械設(shè)備設(shè)計(jì)生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn),具備電氣設(shè)計(jì)、軟件開發(fā)、機(jī)械設(shè)計(jì)、機(jī)械加工、裝備調(diào)試等整條產(chǎn)業(yè)鏈的研發(fā)和生產(chǎn)能力。擁有各類大型及精密加工設(shè)備10余套,在恒溫加熱臺(tái)領(lǐng)域有著技術(shù)優(yōu)勢(shì)?! “钇髣?chuàng)源科技專注于智能壓裝裝備領(lǐng)域,隨著幾年來大力發(fā)展與研發(fā),開發(fā)出有自己的核心技術(shù)且在國(guó)內(nèi)處于*地位的產(chǎn)品:真空熱壓機(jī),高溫真空熱壓機(jī),伺服恒溫壓力機(jī),全自動(dòng)熱壓機(jī),伺服液壓機(jī)等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)機(jī)械,并可配套模具,提供生產(chǎn)技術(shù)支持。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于電子、電器、汽配、機(jī)電、壓鑄、熱壓整型、智能化壓裝、科研單位等行業(yè)?! ?guó)內(nèi)眾多的企業(yè),高等院校都選擇了我們的產(chǎn)品,如富士康、蘇州日立顯示器,三星半導(dǎo)體,大族激光、美的、海信、勤上光電,清華大學(xué),北京大學(xué),中科院13個(gè)研究所等。  之所以選擇邦企創(chuàng)源科技,是因?yàn)樗麄兿嘈虐钇髣?chuàng)源科技的產(chǎn)品可以協(xié)助他們縮短產(chǎn)品的研發(fā)周期,加快產(chǎn)品的上市速度,同時(shí)能節(jié)約大量的資金,保證高質(zhì)量的生產(chǎn)。  公司精神:以信譽(yù)求發(fā)展,以質(zhì)量求生存!  公司使命:努力將客戶產(chǎn)品價(jià)值,服務(wù)創(chuàng)造客戶品牌價(jià)值!  經(jīng)營(yíng)理念:務(wù)實(shí)創(chuàng)新,累計(jì)點(diǎn)滴改進(jìn),邁向品質(zhì)!  服務(wù)理念:服務(wù)于心 踐諾于行,專業(yè)為您量身打造精品網(wǎng)站!  合作理念:真誠(chéng)、熱情、共贏!  工作態(tài)度:高效率、高品質(zhì)、高誠(chéng)信!  深圳市邦企創(chuàng)源科技 ,始終本著誠(chéng)信、務(wù)實(shí)、開拓、制造精品的經(jīng)營(yíng)理念,不斷完善自我,為用戶提供更完善的產(chǎn)品及服務(wù)。
臺(tái)式勻膠機(jī)適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝,主要應(yīng)用于溶膠-凝膠(sol-gel)實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作,其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同,
臺(tái)式勻膠機(jī) 產(chǎn)品信息

  晶圓勻膠機(jī)/噴膠機(jī),臺(tái)式勻膠機(jī)產(chǎn)品均采用觸摸屏加高級(jí)PLC程序控制系統(tǒng),可編程分步運(yùn)行,精確控制,方便易用;,采用CNC一體化加工成型,內(nèi)腔內(nèi)壁呈凹面,有效防止膠液回濺。用于實(shí)驗(yàn)室、旋涂、清洗、顯影、熱板。桌面型勻膠機(jī)是一款臺(tái)式半自動(dòng)勻膠機(jī)系統(tǒng),功能強(qiáng)大,具有勻膠、清洗、顯影和干燥等多種功能,樣品尺寸為8寸晶圓或者150mm*150mm方片。

臺(tái)式勻膠機(jī)

  臺(tái)式勻膠機(jī)產(chǎn)品特色

  1. 落地臺(tái)式機(jī),結(jié)構(gòu)緊湊,所有單元集成在一臺(tái)設(shè)備中,集成度高。

  2. 手動(dòng)裝載/卸載

  3. 襯底可達(dá) ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

  4. 軟件提供用戶友好的操作

  5. 直驅(qū)旋涂電機(jī)

  6. 全軸電機(jī)驅(qū)動(dòng)且可編程

  7. 帶安全中斷傳感器的透明蓋

  8. 外殼上有電源開關(guān) ON / OFF

  9. 工藝腔和可更換防濺環(huán),易于拆卸以進(jìn)行清潔。

  10. 系統(tǒng)材料為PP材質(zhì),耐所有類型的抗蝕劑和溶劑以及各種清潔介質(zhì)。

  11. 包括 0.5 升廢液瓶

噴膠機(jī)細(xì)節(jié)圖

   晶圓勻膠機(jī) 技術(shù)數(shù)據(jù)

  1. 襯底尺寸: 可達(dá) ?200 mm (?8 inch) 或 150 x 150 mm (6 x 6 inch)

  2. 電機(jī)轉(zhuǎn)速: 10.000rpm, 步長(zhǎng) 1 rpm

  3. 電機(jī)加速: 4.000 rpm/s

  4. 步進(jìn)時(shí)間: 1 至 999.9 s,步長(zhǎng)為 0.1s

  5. 工藝腔材質(zhì): 由天然 PP 制成

  6. 系統(tǒng)架構(gòu)材質(zhì): 由白色 PP 制成

  7. 液體線路:

  8. 3線: 2 x 24 V / 1 Amp (每條) / 觸發(fā)點(diǎn) 0.1 秒 - ∞

  9. 5線: 6 x 24 V / 1 Amp (每條) / 觸發(fā)點(diǎn) 0.1 秒 - ∞

勻膠機(jī)工作圖

  勻膠設(shè)備可選配項(xiàng)

  1. 自動(dòng)液體輸送臂 2. 液體罐 3. 防濺環(huán)

  4. 廢液池 5. DI水沖洗 6. N2吹掃

  7. 熱板 8. 不同類型的夾具 9. 中心定位模塊

勻膠設(shè)備選配

  勻膠機(jī)如何選購(gòu)

  勻膠工藝中最重要的一個(gè)因素就是可重復(fù)性。滴膠之后,下一步是高速旋轉(zhuǎn)。使光刻膠層變薄達(dá)到最終要求的膜厚,這個(gè)階段的轉(zhuǎn)速一般在1500-6000轉(zhuǎn)/分,轉(zhuǎn)速的選定同樣要看光刻膠的性能(包括粘度,溶劑揮發(fā)速度,固體含量以及表面張力等)以及基片的大小。

  快速旋轉(zhuǎn)的時(shí)間可以從10秒到幾分鐘。勻膠的轉(zhuǎn)速以及勻膠時(shí)間往往能決定最終膠膜的厚度。一般來說,勻膠轉(zhuǎn)速快,時(shí)間長(zhǎng),膜厚就薄。影響勻膠過程的可變因素很多,這些因素在勻膠時(shí)往往相互抵銷并趨于平衡。微細(xì)的工藝參數(shù)變化會(huì)帶來薄膜特性巨大的差異,下面對(duì)一些可變的因素進(jìn)行分析:

勻膠機(jī)結(jié)構(gòu)圖

  勻膠機(jī)旋轉(zhuǎn)速度 :

  勻膠轉(zhuǎn)速是勻膠過程中最重要的因素?;霓D(zhuǎn)速(rpm)不僅影響到作用于光刻膠的離心力,而且還關(guān)系到緊挨著基片表面空氣的湍動(dòng)和基片與空氣的相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度。光刻膠的最終膜厚通常都由勻膠轉(zhuǎn)速所決定。

  尤其在高速旋轉(zhuǎn)這個(gè)階段,轉(zhuǎn)速±50rpm這樣微小變化就能造成最終膜厚產(chǎn)生10%的偏差。膜厚在很大程度上是作用于液體光刻膠上﹑方向朝基片邊緣的剪刀力與影響光刻膠粘度的干燥(溶劑揮發(fā))速率之間平衡的結(jié)果。

  隨著光刻膠中溶劑不斷揮發(fā),粘度越來越大,直到基片旋轉(zhuǎn)作用于光刻膠的離心力不再能使光刻膠在基片表面移動(dòng)。到這個(gè)點(diǎn)上,膠膜厚度不會(huì)隨勻膠時(shí)間延長(zhǎng)而變薄。

勻膠機(jī)細(xì)節(jié)圖

  勻膠機(jī)規(guī)格要求在量程范圍內(nèi)無論選擇哪個(gè)速度勻膠轉(zhuǎn)速偏差不大于±1rpm。而通常實(shí)際偏差是±0.2rpm。而且,所有的控制程序和轉(zhuǎn)速顯示的分辨能力都是1rpm。

15700106413
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