日立掃描電子顯微鏡S-3400N型具有開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)，強(qiáng)大的自動(dòng)化功能，操作更簡(jiǎn)易。
一、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的特點(diǎn)
1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能，包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度等。
2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái)，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉可以同時(shí)安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。
二、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的技術(shù)指標(biāo)
| 項(xiàng)目 | 描述 | |
| SE分辨率 | 3.0nm (30kV)，高真空模式 | |
| BSE分辨率 | 4.0nm (30kV)，低真空模式 | |
| 放大倍率 | x5 ~ x300,000 | |
| 加速電壓 | 0.3 ~ 30 kV | |
| 低真空 圍 | 6 ~ 270 Pa | |
| 樣品尺寸 | 直徑200mm | |
| 樣品臺(tái) | I型 | II型 |
| X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm | 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm | 5 ~ 65mm |
| R | 360º | 360º |
| T | -20º~ +90º | -20º ~ +90º |
| 樣品高度 | 35mm (WD=10mm) | 80mm (WD=10mm) |
| 驅(qū)動(dòng)類型 | 手動(dòng) | 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng) |
| 燈絲 | 預(yù)對(duì)中鎢燈絲 | |
| 物鏡光欄 | 可移動(dòng)式4孔物鏡光欄 | |
| 槍偏壓 | 固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏 | |
| 檢測(cè)器 | 二次電子檢測(cè)器 | |
| 分析位置 | WD=10mm, TOA=35o | |
| 控制 | 鼠標(biāo)、鍵盤，手動(dòng)旋鈕 | |
| 自動(dòng)調(diào)校 | 自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度 | |
