市場上精確度的納米劃痕測試儀
NST3 納米劃痕測試儀專門用于表征典型厚度小于 1000 nm 的薄膜和涂層的耐劃傷性能和結(jié)合力。NST3 可用于分析有機和無機涂層以及軟硬涂層。納米劃痕測量頭采用的設(shè)計，包括兩個傳感器，用于測量與的壓電致動器相關(guān)的壓入載荷和壓入位移測量。這些的功能提供了快速的響應(yīng)時間（低至毫秒），出色的精確性以及針對各種劃痕測量的高度靈活性。
關(guān)鍵功能
同步的全景成像模式，隨時隨地進行分析
該功能可自動將對焦的整個劃痕的全景圖像與所有傳感器的劃痕數(shù)據(jù)同步。因此，您可以隨時根據(jù)全景成像觀察結(jié)果和信號記錄執(zhí)行臨界載荷分析。安東帕是同步全景技術(shù)（美國 8261600 和歐洲 EP 2065695）的持有人。
快速反饋較小力
NST3 采用雙懸臂梁來施加載荷，并配備壓電陶瓷驅(qū)動器，能夠?qū)κ┘拥妮d荷快速做出響應(yīng)。這一設(shè)計理念還修正了在劃痕過程中發(fā)生的任何情況（例如出現(xiàn)裂紋和失效、缺陷或樣品不平整）而導(dǎo)致的測量結(jié)果偏差。
沒有折扣：準確施加所需的力
閉環(huán)主動力反饋系統(tǒng)可提供更精確的納米劃痕測試。NST3 包含一個實際力傳感器，可測量直接反饋給法向力驅(qū)動器的載荷。這樣可確保劃痕測試的重復(fù)性，即使研究非平面、粗糙或曲面樣品等更加復(fù)雜的表面時，也是如此。
適用于彈性恢復(fù)研究的真實劃痕深度測量
NST3 納米劃痕測試儀包括一個實際位移傳感器，用來監(jiān)控劃痕測試針尖的垂直運動。借助此傳感器，您可以利用前掃描和后掃描模式的技術(shù)獲得劃痕真實的深度，從而評估材料的彈性、塑性和粘彈性。這種技術(shù)需要執(zhí)行前掃描，記錄執(zhí)行劃痕測試前樣品的表面特性（形狀、波度和粗糙度）。在測量劃痕期間（劃痕深度）和測量之后（殘留深度），NST3 將使用該表面特性修正劃痕測試的深度。
劃痕后可進行多次后掃描模式評估彈性性能
劃痕后，您可以在軟件中用時間增量定義無限次后掃描測量殘余深度。這種全新的分析方法將讓您進一步了解表面變形性能與時間的依賴關(guān)系。
技術(shù)規(guī)格
| 載荷 [mN] | 1000 |
| 載荷分辨率 [μN] | 0.01 |
| 載荷背底噪聲 [rms] [μN] | 0.1 |
| 加載速度 [N/min] | 最多 100 種 |
| 摩擦力 [mN] | 1000 |
| 摩擦力分辨率 [µN] | 1 |
| 位移 [μm] | 600 |
| 深度分辨率 [nm] | 0.1 |
| 深度背底噪聲 [rms] [nm] | 1.5 |
| 數(shù)據(jù)采集頻率 [kHz] | 192 |
| 劃痕速度 [mm/min] | 0.1 到 600 |
