產(chǎn)品介紹
LAF5S-C2包含1xLAF5傳感器和1xLAF-C2步進(jìn)/伺服驅(qū)動(dòng)控制器。該系統(tǒng)具有一個(gè)完整的Z軸閉環(huán)系統(tǒng)，帶有傳感器和電機(jī)控制。它配有軟件接口，可輕松設(shè)置、使用和診斷所有必要的傳感器和電機(jī)參數(shù)。易于集成到現(xiàn)有軟件體系結(jié)構(gòu)中。
性能特點(diǎn)
- 用于自動(dòng)光學(xué)檢測系統(tǒng)和工業(yè)顯微鏡的激光自動(dòng)聚焦和跟蹤。
- 傳感器投射出一條更細(xì)的線，以聚焦于樣本。
- 適用于LWDPlan Apo鏡頭2x100x、VIS、NIR、NUV、DUV。
- UI界面和軟件庫。
- 電機(jī)控制，帶步進(jìn)電機(jī)和伺服驅(qū)動(dòng)器的脈沖輸出。
- 可選電機(jī)控制，帶2個(gè)高功率隔離LED電源。
技術(shù)參數(shù)
產(chǎn)地：德國
放大：5 x、10 x、20 x、50 x、100 x
DOF：14µm、3.5µm、1.6µm、0.9µm、0.6µm
激光采樣率：max.5kHz。
視頻采樣率：max.250幀/秒，連續(xù)
工作范圍激光：±12000µm、±4000µm、±1500µm、±500µm、±150µm
工作范圍視頻：±5000µm、±1000µm、±400µm、±100µm、±20µm
激光模式：0.5的鏡頭自由度
激光器：二極管激光器660nm，IIIR<2mW，前透鏡
操作溫度：+5°C至+50°C
光束形狀：45°傾斜激光線
重量（傳感器+電纜）：400gr
重量（接口）：400gr
推薦BS：50/50
激光AF周期：＜0.1s
圖像AF周期：<0.4s
混合AF循環(huán)時(shí)間：0.2s
產(chǎn)品應(yīng)用
我們的技術(shù)能夠自動(dòng)聚焦：
具有高對比度變化的圖案化表面
具有高倍率透鏡的最小結(jié)構(gòu)
具有不同折射率的材料，如夾層/分層基板
產(chǎn)品參數(shù)
